申请/专利权人：爱佩克斯(合肥)科技有限公司

申请日：2023-08-28

公开（公告）日：2024-04-23

公开（公告）号：CN220827461U

主分类号：C23C16/50

分类号：C23C16/50;C30B25/00;C23C16/458

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.04.23#授权

摘要：本实用新型属于镀膜设备技术领域，尤其是一种晶圆PEVCD镀膜设备，包括镀膜工作台，所述镀膜工作台的底部固定安装有支撑框架，所述支撑框架的底部内壁固定安装有电动伸缩杆，所述电动伸缩杆的输出端固定安装有活动板；夹持组件，所述夹持组件安装在支撑框架和活动板上，所述夹持框架固定安装在镀膜工作台的底部内壁一周；通过设置的夹持组件，工作人员将该晶圆放置在夹持块的中间处，即可对晶圆进行固定，对晶圆的放置操作较为方便，使晶圆固定较为平稳，不易使晶圆在镀膜过程中出现镀膜不均匀的情况，从而不易影响产品质量，且晶圆在放置时不需工作人员进行对齐，从而使工作时间降低，提升工作效率。

主权项：1.一种晶圆PEVCD镀膜设备，其特征在于，包括：镀膜工作台1，所述镀膜工作台1的底部固定安装有支撑框架2，所述支撑框架2的底部内壁固定安装有电动伸缩杆3，所述电动伸缩杆3的输出端固定安装有活动板4；夹持组件，所述夹持组件安装在支撑框架2和活动板4上；所述夹持组件包括夹持框架5、推动杆6、固定块7、转动块8、第一摇杆9、第二摇杆10和夹持块11，所述夹持框架5固定安装在镀膜工作台1的底部内壁一周，所述推动杆6固定安装在活动板4的顶部一周，所述固定块7固定安装在推动杆6的一端外侧，所述转动块8转动安装在夹持框架5的内侧之间，所述第一摇杆9固定安装在转动块8的外侧，所述第二摇杆10的一端转动安装在固定块7的前后两侧，所述第二摇杆10的另一端转动安装在第一摇杆9的前后两侧，所述夹持块11分别固定安装在第一摇杆9的一端外侧。

全文数据：

权利要求：

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