申请/专利权人：深圳市捷佳伟创新能源装备股份有限公司

申请日：2018-04-09

公开（公告）日：2018-11-27

公开（公告）号：CN208157378U

主分类号：H01L21/673(2006.01)I

分类号：H01L21/673(2006.01)I;H01L31/18(2006.01)I

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2018.11.27#授权

摘要：一种PEVCD卧式石墨舟结构，包括多个固定杆、多个石墨舟片，所述的固定杆竖直间隔设置在石英炉管内，呈阵列排列；所述的石墨舟片水平设置且层叠间隔固定在所述的固定杆上，所述的固定杆、石墨舟片整体设置在石英炉管的内部，采用了石墨舟片水平的设置，硅片水平放入，当石墨舟结构在石英炉管里放置不水平的时候，硅片也还是贴合石墨舟片的，镀减反膜工艺后的硅片不会出现绕镀，硅片四周也不会产生黑边的问题，降低了硅片镀减反膜的不良率。

主权项：1.一种PEVCD卧式石墨舟结构，其特征在于：包括多个固定杆（1）、多个石墨舟片（2），所述的固定杆（1）竖直间隔设置在石英炉管（3）内，呈阵列排列；所述的石墨舟片（2）水平设置且层叠间隔固定在所述的固定杆（1）上，所述的固定杆（1）、石墨舟片（2）整体设置在石英炉管（3）的内部。

全文数据：一种PEVCD卧式石墨舟结构技术领域[0001]本实用新型涉及太阳能硅片的制作领域，更具体地说是一种PEVO卧式石墨舟结构。背景技术[0002]在光伏行业，据测算，光在硅表面的反射损失率高达35%左右，减反膜可以极高地提高电池片对太阳光的利用率，有助于提高光生电流密度，进而提高转换效率。[0003]PECVD用于对单晶硅片、多晶硅片的表面镀减反膜。在本行业的发展中，人们一直在追求工艺的提升，提升镀减反膜的良品率。其中，石墨舟结构在工艺提升方面也有至关重要的作用。[0004]如图3和图4,目前市场上的石墨舟结构采用了立式镀减反膜的结构，石墨舟片2竖直设置，均匀层叠间隔的固定在固定杆1上，在需要镀反射膜时，把硅片竖直放置在石墨舟片之间，与石墨舟片贴合，最后把整个石墨舟结构放置在石英炉管内镀减反膜，由于硅片6需要竖直放置，所以也在石墨舟片上设置卡点（图中未示出），以防止硅片脱落。当石墨舟结构在石英炉管里放置不水平的时候，会出现硅片表面与石墨舟片表面贴合不紧的情况，从而导致硅片导电不良，工艺后的硅片出现绕镀，硅片四周会产生黑边，致使不良品率升高。[0005]因此，需要一种新型的石墨舟结构来降低硅片镀减反膜工艺的不良率。实用新型内容[0006]本实用新型的目的是提供TOVCD卧式石墨舟结构，把石墨舟片水平设置，硅片能够水平放在石墨舟片上，提尚娃片链减反膜的良率。[0007]为达上述目的，本实用新型采用的技术方案如下：[0008]一种TOVCD卧式石墨舟结构，包括多个固定杆、多个石墨舟片，所述的固定杆竖直间隔设置在石英炉管内，呈阵列排列;所述的石墨舟片水平设置且层叠间隔固定在所述的固定杆上，所述的固定杆、石墨舟片整体设置在石英炉管的内部。[0009]优选地，所述石墨舟片上设置有多个第一通孔，所述的固定杆穿过第一通孔，每两层石墨舟片之间还设置有分隔件，该分隔件上设置有第二通孔，所述的固定杆穿过所述的分隔件上的第二通孔。[0010]优选地，所述的分隔件为圆柱状或是方块状。[0011]优选地，石英炉管轴心两侧的固定杆的底部还固定设置有多个底座，该底座与石英炉管的内壁贴合。[0012]优选地，所述的底座为类L型结构，包括水平壁和弧形壁，该水平壁固定设置在最下面的两个石墨舟片之间，该弧形壁的弧形外径与石英炉管的内径配合。[0013]优选地，所述的水平壁上设置有第三通孔，固定杆穿过第三通孔。[0014]优选地，所述的固定杆两端设置有螺纹，石墨舟片通过固定杆上的螺纹和螺母固定。[0015]一种卧式硅片镀减反膜机，包括了上述的PEVCD卧式石墨舟结构。[0016]与现有技术相比，本实用新型至少具有以下有益效果：[0017]本实用新型PEVCD卧式石墨舟结构，采用了把石墨舟片水平设置，硅片水平放置在石墨舟片上，当石墨舟结构在石英炉管里放置不水平的时候，硅片也是贴合石墨舟片的，镀减反膜工艺后的硅片不会出现绕镀，硅片四周也不会产生黑边；由于硅片的放置面方向与水平方向平行，故不再需要卡点，所以镀膜工艺后的硅片表面不会留有印迹,降低了镀减反膜的不良率。附图说明[0018]图1为一实施例的侧视图；[0019]图2为图1的立体结构图；[0020]图3为现通用的结构侧视图；[0021]图4为图3的立体结构图。[0022]标号说明：1、固定杆2、石墨舟片3、石英炉管4、分隔件5底座6硅片51、水平壁52、弧形壁。具体实施方式[0023]下面结合附图和实施例对本实用新型做进一步说明。[0024]参照图1和图2,本实用新型一实施例提供一种PEVCD卧式石墨舟结构，该结构包括:固定杆1、石墨舟片2,其中固定杆均匀间隔坚直设置，阵列排列在使用状态即镀减反膜工艺时的石英炉管3的内部;石墨舟片为块状结构，水平固定在固定杆1上，从下向上层叠，每两个石墨舟片2之间设有固定间距。如此设置是为了把硅片6的插入方式由原来通用设备的竖直插入改成直接水平插入，所以硅片6是水平放在石墨舟片上的，在使用的过程中把放有硅片6的石墨舟结构整体放置在石英炉管3内，然后进行镀减反膜工艺，即使石墨舟结构放置不太水平，硅片也是贴合在石墨舟片上的，镀减反膜工艺后的硅片不会出现绕镀，硅片四周也不会产生黑边等不良问题，由于硅片的放置面方向与水平方向平行，所以不再需要像现通用的设备一样另外设置卡点结构，那么工艺后的硅片表面不会留有印迹，同时也使本结构较其它现通用设备更加简洁，方便。[0025]石墨舟片2上设置有多个第一通孔（图中未标记），这些通孔的数量与固定杆1的数量相同，每个固定杆穿过第一通孔，为了使每两层石墨舟片间有固定的间距，每两层石墨舟片之间还设置有分隔件4,分隔件上设置的有第二通孔图中未标记），每个分隔件也通过第二通孔套在固定杆1上，其用于固定每两层石墨舟片的间距，确保结构的稳定性。分隔件设置为圆柱状或是方块状。[0026]在本实施例中，石英炉管轴心两侧的固定杆的底部还固定设置有多个底座5,底座5是起到了支撑的作用，是为了使石墨舟片2平稳的放置在石英炉管3内。该底座5设置为类L型结构，包括水平壁51和弧形壁52，水平壁上设置有第三通孔图中未标记），水平壁设置在最下层两块石墨舟片之间，并且固定杆1穿过第三通孔;弧形壁的弧形边的直径与石英炉管的内壁直径相同，这样可以使整个装置更加稳定的放置在石英炉管3的，同时也方便调整石墨舟片的水平度。本实施例中底座设置有四个，分别设置在石墨舟片四个角处的固定杆上图2中仅显示了两个底座），此设置类似汽车的四个轮子，用四个支撑点来支撑汽车的主体。固定杆两端还设置有螺纹，用螺母分别固定两端，把石墨舟片、固定杆、底座固定在一起。[0027]另一个实施例提供的一种PEVCD卧式石墨舟结构，与上述实施例不同的地方在于，石墨舟片焊接在固定杆上，不设置分隔件;定位杆设置较长，不设置底座，用定位杆的下端来代替底座，与石英炉管配合。[0028]本实施方式还保护一种卧式硅片镀减反膜机，该镀减反膜机包括上述的石墨舟结构，采用了石墨舟片和硅片水平设置的方式，较现用的竖直设置设备，硅片插入不到位时，也不会产生掉片的现象，减少了不良率的发生。[0029]在一种自动放置硅片的镀减反膜机中，采用三列固定杆1如图1所示），每两列固定杆之间的位置放置硅片，自动设备采用从左右两个方向水平插入硅片的方式，这样可以方便的插入硅片;也可以采用两列固定杆，从左或是从右插入硅片，这样都可以方便的自动插入硅片。此镀减反膜机上不适宜设置超过三列的固定杆，不利于插入硅片。[0030]在另一种手工放置硅片的的镀减反膜机中，则可以不限制固定杆的列数，固定杆的列数可以超过三列，只需要石英炉管的直径足够大即可，人工都是可以实现插入硅片的。[0031]上述通过具体实施例对本实用新型进行了详细的说明，这些详细的说明仅仅限于帮助本领域技术人员理解本实用新型的内容，并不能理解为对本实用新型保护范围的限制。本领域技术人员在本实用新型构思下对上述方案进行的各种润饰、等效变换等均应包含在本实用新型的保护范围内。

权利要求：1.一种PEVCD卧式石墨舟结构，其特征在于:包括多个固定杆1、多个石墨舟片2，所述的固定杆1竖直间隔设置在石英炉管3内，呈阵列排列;所述的石墨舟片2水平设置且层叠间隔固定在所述的固定杆（1上，所述的固定杆（1、石墨舟片2整体设置在石英炉管3的内部。2.根据权利要求1所述的PEVCD卧式石墨舟结构，其特征在于:所述石墨舟片（2上设置有多个第一通孔，所述的固定杆（1穿过第一通孔，每两层石墨舟片之间还设置有分隔件4，该分隔件上设置有第二通孔，所述的固定杆1穿过所述的分隔件上的第二通孔。3.根据权利要求2所述的PEVCD卧式石墨舟结构，其特征在于:所述的分隔件⑷为圆柱状或是方块状。4.根据权利要求1所述的PEVCD卧式石墨舟结构，其特征在于:石英炉管轴心两侧的固定杆的底部还固定设置有多个底座5，该底座与石英炉管3的内壁贴合。5.根据权利要求4所述的PEVCD卧式石墨舟结构，其特征在于:所述的底座（5为类L型结构，包括水平壁51和弧形壁52，该水平壁固定设置在最下面的两个石墨舟片之间，该弧形壁的弧形外径与石英炉管3的内径配合。6.根据权利要求5所述的PEVCD卧式石墨舟结构，其特征在于:所述的水平壁（51上设置有第三通孔，固定杆1穿过第三通孔。7.根据权利要求1-6任一项所述的PEVCD卧式石墨舟结构，其特征在于:所述的固定杆两端设置有螺纹，石墨舟片通过固定杆上的螺纹和螺母固定。8.—种包含了上述任意一项权利要求所述的PEVCD卧式石墨舟结构的卧式硅片镀减反膜机。

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