申请/专利权人：百格通(成都)集成电路有限公司

申请日：2023-08-30

公开（公告）日：2024-04-23

公开（公告）号：CN220826171U

主分类号：B28D5/00

分类号：B28D5/00;B28D7/00;B28D7/04;B28D7/02

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.04.23#授权

摘要：本实用新型提供一种晶圆切割机清洗装置，涉及晶圆切割机领域。该晶圆切割机清洗装置，包括底座，所述底座顶部固定连接有支撑台，所述支撑台底部固定连接有漏斗，所述支撑台顶部固定连接有工作箱，所述工作箱底部固定连接有切割台，所述切割台顶部设有喷头和齿圈，所述齿圈内部转动连接有两个毛刷，所述齿圈一侧固定连接有两个第三电机，两个所述第三电机输出轴分别与两个毛刷固定连接，所述齿圈一侧设有升降组件和传动组件。该晶圆切割机清洗装置，通过喷头转动将清洁液和二氧化碳喷洒到更远的地方，使其更加均匀地分布在切割台表面，通过两个毛刷公转和自转对切割台进行清扫，解决了冲洗时硅粉残留在切割台上没有去除的问题，使清扫更加彻底。

主权项：1.一种晶圆切割机清洗装置，包括底座1，其特征在于：所述底座1顶部固定连接有支撑台3，所述支撑台3底部固定连接有漏斗4，所述支撑台3顶部固定连接有工作箱2，所述工作箱2底部固定连接有切割台5，所述切割台5顶部设有喷头10和齿圈11，所述齿圈11内部转动连接有两个毛刷13，所述齿圈11一侧固定连接有两个第三电机14，两个所述第三电机14输出轴分别与两个毛刷13固定连接，所述齿圈11一侧设有升降组件和传动组件。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 百格通(成都)集成电路有限公司 一种晶圆切割机清洗装置

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