申请/专利权人：广西晶联光电材料有限责任公司

申请日：2024-01-23

公开（公告）日：2024-04-12

公开（公告）号：CN117867453A

主分类号：C23C14/34

分类号：C23C14/34

优先权：

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2024.04.30#实质审查的生效;2024.04.12#公开

摘要：本发明涉及平面靶材领域，具体公开了一种平面靶材绑定的方法，将背板、金属铟、靶材逐层层叠，在背板和金属铟之间插入金属丝，金属丝的首尾两段连接超声波振动器，初次校正靶材和背板的方位，背板升温、超声波振动器带动金属丝振动，开始绑定靶材，绑定结束后在高温状态下微调靶材和背板的方位，最后降温完成加工。该绑定方法操作简单，常温下对靶材进行初步定位，在后续升温后只需微调方位，既可以提高靶材的贴合率，又降低了搬运、绑定导致的作业风险。

主权项：1.一种平面靶材绑定的方法，其特征在于包括如下步骤：1、将待绑定靶材的非绑定面及其四周用胶带贴合保护，将背板的绑定面的非绑定区域用于胶带贴合保护；2、将待绑定的空的背板放置于加热台，背板的绑定面朝上，背板的非绑定面贴合加热台；3、背板的绑定面间隔且平行地布置若干金属丝，各条金属丝的首尾两端分别连接对应侧的超声波振动器，位于背板两侧的超声波振动器拉直金属丝，然后在各条金属丝的上表面均放置片状的金属铟；4、靶材放置于背板的上表面，此时靶材的绑定面贴合金属铟，相邻靶材之间的拼接缝插入隔热片，最后固定靶材的边缘；5、加热台升温至180℃-210℃，融化金属铟；6、两侧的超声波振动器振动金属丝，利用金属丝的震荡消除熔融状态下金属铟的内部的空气，利用金属丝同时摩擦背板和靶材的绑定面，使背板与靶材粘连；7、20min-35min后关闭超声波振动器，重新校准靶材位置，于靶材的上表面放置压块施加压力，清理靶材的拼接缝，在上述过程中，加热台逐渐降温至室温；8、按靶材的宽度裁断金属丝，清理背板和靶材四周的多余的金属铟，完成加工。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 广西晶联光电材料有限责任公司 一种平面靶材绑定的方法

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