申请/专利权人：浙江大学嘉兴研究院

申请日：2023-12-30

公开（公告）日：2024-04-12

公开（公告）号：CN117872518A

主分类号：G02B3/02

分类号：G02B3/02;G02B1/00;G02B27/00

优先权：

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2024.04.30#实质审查的生效;2024.04.12#公开

摘要：本发明公开了一种实现中远红外跨波段超宽带消色差的超透镜，成像器件包括Si衬底和设置在Si衬底上的Si纳米柱上的亚波长单元结构。本发明通过利用PB相位和传输相位相结合的方法来对入射光相位的调制，实现超透镜器件的消色差聚焦效果，并在在同一衬底上放置了中远红外两个波段的超透镜结构，使其在片上实现了跨波段的超宽带消色差的功能。本发明工作在中远红外波段，具有结构简单、可调节尺寸、易于集成的优点，在中远红外成像系统中有潜在应用价值。

主权项：1.一种实现中远红外跨波段超宽带消色差的超透镜，其特征在于，所述的超透镜包括2个透镜，所述的2个透镜均位于同一个衬底上，所述的2个透镜的高度，尺寸半径相同，为100μm，分别为中红外和远红外两个不同波段的消色差透镜结构来实现跨波段的超宽带消色差功能，间距为150μm；每个超透镜由多个呈圆形阵列排布的亚波长共振结构单元组成，所述亚波长共振结构单元包括：Si衬底和设置在Si衬底上的Si纳米柱，所述的Si衬底的厚度H＝525μm，Si纳米柱的高度h＝4μm，中红外波段的超透镜1的Si衬底的周期P1＝2μm，Si纳米柱的长L1的设置范围为0.8μm-1.7μm，Si纳米柱的宽W1的设置范围为0.2μm-0.8μm；远红外波段的超透镜2的Si衬底的周期P2＝5μm，Si纳米柱的长L2的设置范围为1μm-3.6μm，Si纳米柱的宽W2的设置范围为0.2μm-2.8μm。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 浙江大学嘉兴研究院 一种实现中远红外跨波段超宽带消色差的超透镜

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