申请/专利权人：中国科学院理化技术研究所

申请日：2024-01-18

公开（公告）日：2024-04-12

公开（公告）号：CN117865866A

主分类号：C07C381/12

分类号：C07C381/12;G03F7/004

优先权：

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2024.04.30#实质审查的生效;2024.04.12#公开

摘要：本发明提供一类式I所示基于三蝶烯的多硫鎓盐单分子树脂光刻胶及其制备方法和应用。本发明式I所示化合物以三蝶烯和苯环为基本单元，最大限度地提高了其作为主体材料的抗刻蚀性能，同时提高了其热稳定性、溶解性和成膜性，综合性能大大提高，所述主体材料的热分解温度大于250℃，其热稳定性相对于现有的三蝶烯结构显著提升，扩大了材料的应用范围，适合光刻加工工艺的要求。。

主权项：1.式I所示的化合物： 其中，R1、R2、R3、R4、R5相同或不同，各自独立地选自硫鎓盐基团-S+RS1RS2或基团Z，所述基团Z为H、C1-6烷基、C1-6烷氧基或-C1-6烷基-CO-C1-6烷基；RS1、RS2相同或不同，各自独立地选自如下基团：C1-6烷基、C6-14芳基、-C1-6烷基-C6-14芳基、氘代C1-6烷基；X–为阴离子；n等于分子中硫鎓盐基团-S+RS1RS2中S+的个数，S+和X–使化合物整体呈电中性，n值为2-6的整数；即式I化合物中具有2-6个基团-S+RS1RS2。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 中国科学院理化技术研究所 基于三蝶烯的多硫鎓盐单分子树脂光刻胶及其制备方法

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