申请/专利权人：默克专利有限公司

申请日：2018-11-26

公开（公告）日：2024-04-12

公开（公告）号：CN111386499B

主分类号：G03F7/075

分类号：G03F7/075;G03F7/004;G03F7/40

优先权：["20171127 JP 2017-226891"]

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.04.12#授权;2020.12.18#实质审查的生效;2020.07.07#公开

摘要：[目的]本发明提供一种负型感光性硅氧烷组合物，其可形成耐热性以及开裂极限膜厚优异的固化膜。[手段]本发明提供一种负型感光性硅氧烷组合物，其包含：含特定量硅烷醇的聚硅氧烷、特定的光碱产生剂颗粒、以及溶剂。硅烷醇的含有率利用FT‑IR测定。

主权项：1.一种负型感光性组合物，其包含I聚硅氧烷、II光碱产生剂、以及III溶剂，所述聚硅氧烷包含从由以下的式i-1、i-2以及i-3组成的群组中选出的重复单元的组合， 所述重复单元i-1、i-2、以及i-3的配混摩尔比p1、p2、以及p3为0.4≤p1≤0.8、0≤p2≤0.4、且0.2≤p3≤0.6，利用FT-IR法对所述聚硅氧烷进行了测定以及解析时，处于1100±100cm-1的范围的归属于Si-O的吸收带的面积强度S1与处于900±100cm-1的范围的归属于SiOH的吸收带的面积强度S2之比S2S1为0.05～0.15，所述光碱产生剂由以下的式PBG-A或者PBG-B表示， 式中，RA1～RA6各自独立地为氢、卤素、羟基、巯基、硫醚、甲硅烷基、硅烷醇、硝基、亚硝基、亚磺基、磺基、磺酸根、膦基、氧膦基、膦酰基、膦酸根、氨基、铵、取代或者非取代的C1～20的脂肪族烃基、取代或者非取代的C6～22的芳香族烃基、取代或者非取代的C1～20的烷氧基、或者取代或者非取代的C6～20的芳氧基，RA7以及RA8各自独立地为C1～6的羟基烷基，或者RA7以及RA8利用C2～9的亚烷基进行结合而形成环状结构，在所述环状结构上结合着C1～6的羟基烷基，RB1～RB8各自独立地为氢、取代或者非取代的C1～20的脂肪族烃基、取代或者非取代的C6～22的芳香族烃基、取代或者非取代的C1～20的烷氧基、或者取代或者非取代的C6～20的芳氧基，X-是硼酸根离子或者羧酸根离子，其具有取代或者非取代的C1～20的脂肪族烃基、取代或者非取代的C6～22的芳香族烃基。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 默克专利有限公司 负型感光性硅氧烷组合物、以及使用了其的固化膜和电子器件的制造方法

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