申请/专利权人：无锡星微科技有限公司杭州分公司

申请日：2023-09-26

公开（公告）日：2024-04-12

公开（公告）号：CN116989064B

主分类号：F16C32/06

分类号：F16C32/06;B01D46/10

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.04.12#授权;2023.11.21#实质审查的生效;2023.11.03#公开

摘要：本发明提供了一种高精密气浮直线平台，涉及运动平台技术领域，本发明的直线平台包括：承载台，气浮台，气浮轴承以及过滤器等，过滤器能够实现降低气流流速，截留部分细小颗粒，避免气流流入气浮轴承时空气中含有的灰尘堵塞气浮轴承的技术效果；气浮轴承能够实现气流匀速流出并在轴承端面形成一层空气膜，以及迅速抽空气浮轴承表面的空气膜使气浮台停止运动，并减少气浮台突然制动产生的冲击的技术效果。

主权项：1.高精密气浮直线平台，包括：承载台（2），所述承载台（2）上方设置有气浮台（1），其特征在于，所述气浮台（1）侧方设置有多个过滤器（3），所述过滤器（3）包括第三壳体（32），所述第三壳体（32）外侧固定连接有进气壳罩（36），所述第三壳体（32）内套设有第二壳体（33），所述第二壳体（33）内套设有第一壳体（34），所述第一壳体（34）内套设有过滤基体（341），所述过滤基体（341）中心设置有可转动的过滤组件（35）；所述第一壳体（34）与第二壳体（33）之间夹设有限位条（332），所述限位条（332）环绕第一壳体（34）外侧设置，所述第二壳体（33）端部设置有可相对第三壳体（32）的转动的滚动件（331），所述第三壳体（32）与第二壳体（33）之间还夹设有过滤圈套（321），所述第三壳体（32）侧面设置有封盖（31），所述第一壳体（34）、第二壳体（33）、以及限位条（332）表面均设置有通气孔；所述过滤基体（341）为空心柱体结构，其侧面开设多个滤孔（342），所述滤孔（342）之间的间隔处设置有叶板（343），所述叶板（343）纵向设置并且所述叶板（343）设置于过滤基体（341）内部，所述过滤组件（35）不与叶板（343）接触，所述过滤组件（35）包括主轴体（354）和滤板（352），所述主轴体（354）一端与所述封盖（31）转动连接，所述主轴体（354）上滑动连接有第二移动基体（353），所述第二移动基体（353）内部中空且两侧面通过滤板（352）连接有第一移动基体（351）。

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权利要求：

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