申请/专利权人：福建华佳彩有限公司

申请日：2019-03-22

公开（公告）日：2024-04-12

公开（公告）号：CN109976098B

主分类号：G03F7/16

分类号：G03F7/16

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.04.12#授权;2019.07.30#实质审查的生效;2019.07.05#公开

摘要：本发明公开一种光阻刀头，包括刀头本体、缓冲室和控制器，缓冲室设置有压力调节装置和出液口，压力调节装置包括调节支管、压力检测器和双向液体泵，在刀头本体的中空结构内安装一个缓冲室，且缓冲室的一侧壁与刀头本体的一侧壁共壁，同时在该侧壁上开设出液口，并等间距的安装压力检测器，便于对缓冲室内的不同部位的压力进行检测。若某个部位上检测出的压力值过高或较低，则通过双向液体泵抽送光阻液体经过调节支管输送至该部位的缓冲室内，进而使得缓冲室内各个部位上的压力值保持在一定范围值内，而该范围值可以通过人工进行设定。因此，在涂布时，通过缓冲室上的出液口供给的光阻液较为稳定，从而达到均匀涂布的效果。

主权项：1.一种光阻刀头，其特征在于：包括刀头本体、缓冲室和控制器；所述刀头本体为中空结构，所述缓冲室设置在刀头本体的中空结构内，且所述缓冲室的一侧壁与刀头本体的一侧壁共壁设置；所述缓冲室设置有压力调节装置和出液口，所述压力调节装置包括调节支管、压力检测器和双向液体泵，所述调节支管的一端与缓冲室相导通设置，所述调节支管的另一端与双向液体泵的端口连接，压力检测器与控制器电连接，控制器与双向液体泵电连接，所述压力检测器设置在缓冲室内；所述压力调节装置设置有多个，多个所述压力调节装置等间距设置在缓冲室与刀头本体的共壁外侧面上；所述出液口设置有多个，多个出液口沿着同一条水平线等高度的设置在缓冲室与刀头本体的共壁的外侧面上；所述缓冲室的长度与刀头本体的中空结构的长度相同；所述缓冲室上还设置有总注液管，所述总注液管位于缓冲室与刀头本体的共壁外侧面上；还包括液体泵，所述液体泵与总注液管连接设置，液体泵用于对缓冲室补充光阻液涂料。

全文数据：一种光阻刀头技术领域本发明涉及光阻涂布设备领域，尤其涉及一种光阻刀头。背景技术光学膜与现有的保护膜或则胶带是两种完全不同的概念，对于光学膜必须厚薄均匀，表面要求无尘、少晶点。而对于其的涂布技术工艺具有较高的要求，例如：要求制得的膜厚更加均匀，从而对于涂布需要具备精密涂布工艺，并从中不断的发张和完善，继而达到该紧密涂布工艺的生产需求。在常规涂布工艺中，涂布的药液常常会因为刀头内各处压力不均，而造成涂布后的膜厚的均匀度偏差过大，进而直接影响了涂布质量。导致在后续的玻璃基板上出现各处膜薄厚不一的情况，若涂布膜厚太薄，则无法保护基板内敏感器件；若涂布膜厚过厚。则对器件的发光效率造成干扰，进而影响玻璃基板的良率。并且，若发生涂布不良的情况，也会为产生修补产线带来负荷，造成生产成本的增加。发明内容为此，需要提供一种光阻刀头，用以解决现有的涂布工艺容易发生涂布膜薄厚不一的问题。为实现上述目的，发明人提供了一种光阻刀头，包括刀头本体、缓冲室和控制器；所述刀头本体为中空结构，所述缓冲室设置在刀头本体的中空结构内，且所述缓冲室的一侧壁与刀头本体的一侧壁共壁设置；所述缓冲室设置有压力调节装置和出液口，所述压力调节装置包括调节支管、压力检测器和双向液体泵，所述调节支管的一端与缓冲室相导通设置，所述调节支管的另一端与双向液体泵的端口连接，压力检测器与控制器电连接，控制器与双向液体泵电连接，所述压力检测器设置在缓冲室内；所述压力调节装置设置有多个，多个所述压力调节装置等间距设置在缓冲室与刀头本体的共壁外侧面上；所述出液口设置有多个，多个出液口沿着同一条水平线等高度的设置在缓冲室与刀头本体的共壁的外侧面上。进一步地，所述缓冲室的长度与刀头本体的中空结构的长度相同。进一步地，所述缓冲室上还设置有总注液管，所述总注液管位于缓冲室与刀头本体的共壁外侧面上。进一步地，还包括液体泵，所述液体泵与总注液管连接设置，液体泵用于对缓冲室补充光阻液涂料。进一步地，还包括缓冲室压力检测器，所述缓冲室压力检测器设置在缓冲室内，缓冲室压力检测器与控制器电连接设置。进一步地，所述出液口设置有喷头。进一步地，所述喷头与出液口之间的管道上设置有电磁阀门，所述电磁阀门与控制器电连接设置。区别于现有技术，上述技术方案在刀头本体的中空结构内安装一个缓冲室，且缓冲室的一侧壁与刀头本体的一侧壁共壁，同时在该侧壁上开设出液口，并等间距的安装压力检测器，便于对缓冲室内的不同部位的压力进行检测。若某个部位上检测出的压力值过高或较低，则通过双向液体泵抽送光阻液体经过调节支管输送至该部位的缓冲室内，进而使得缓冲室内各个部位上的压力值保持在一定范围值内，而该范围值可以通过人工进行设定。因此，在涂布时，通过缓冲室上的出液口供给的光阻液较为稳定，从而达到均匀涂布的效果。附图说明图1为具体实施方式所述的光阻刀头的刀头本体的示意图；图2为具体实施方式所述的光阻刀头的刀头本体的剖视图；图3为具体实施方式所述的光阻刀头的示意图；图4为具体实施方式所述的光阻刀头的电路图。附图标记说明：10、刀头本体；11、出液口；101、中空结构；111、电磁阀门；112、喷头；20、缓冲室；21、压力调节装置；22、调节支管；23、压力检测器；24、双向液体泵；25、总注液管；251、液体泵；26、缓冲室压力检测器；30、控制器；40、减压阀；具体实施方式为详细说明技术方案的技术内容、构造特征、所实现目的及效果，以下结合具体实施例并配合附图详予说明。请参阅图1、图2、图3和图4，本实施例提供一种光阻刀头，包括刀头本体10、缓冲室20和控制器30；控制器的型号为三菱Q系列Q01UCPU控制器，刀头本体为中空结构101，缓冲室设置在刀头本体的中空结构内。本实施例中使用压力调节装置21对缓冲室内的各个部位的压力进行调节，使得由出液口11中输送的光阻液较为稳定，达到协调控制刀头本体在涂布时的出液量，有效的改善涂布在玻璃基板上各处的膜厚相同或在合格的范围值内，提高玻璃基板的涂布良率。进而达到改变常规涂布中膜厚均匀度稳定性差的特性，由各个压力调节装置的调节支管的双向液体泵对各部位的光阻液涂布量进行控制，有效的改善玻璃基板上各处膜厚的薄厚不一的情况。具体的，刀头本体的中空结构内安装一个缓冲室，且缓冲室的一侧壁与刀头本体的一侧壁共壁，在本说明书中称该共壁为共壁面。在该共壁面上等间距的设置多个出液口11，同时出液口沿着同一条水平分布，使得经由缓冲室内输出的光阻液在同一高度，便于调控缓冲室内部的压力。共壁面的外侧面上还安装有多个压力调节装置，多个压力调节装置也沿着同一水平线等间距的安装在共壁面上，使得压力调节装置可以对缓冲室内不同部位进行压力检测。在本实施例中缓冲室的长度与刀头本体的中空结构的长度相同，因此通过共壁面即可在刀头本体的外侧面上安装压力调节装置，并开设出液口。在出液口的一侧安装调节支管22，调节支管即为一个软管，其用于连接泵和缓冲室输送光阻液，而在刀头本体的中空结构内的缓冲室内侧壁上安装压力检测器23，压力检测器为陶瓷压力检测器，其型号为AP681AP683系列的压力检测器。且压力检测器的位置与调节支管的相对，可以理解为压力检测器与调节只管处在同一个平行于刀头本体的两端侧面的垂直面。因此可以准确检测调节支管处的压力值，并将该压力值的信号反馈至控制器内。通过人工设定压力检测器的压力范围值，因此可以在刀头本体涂布的过程中自动检测光阻液输出压力，若是检测压力过大时，则开启调节支管上的双向液体泵24，将缓冲室内多余的光阻液抽走回流，使其重新流入供液系统的存储罐内；若是检测压力不足时，则开启双向液体泵抽取存储罐内的光阻液，增加出液口处的光阻液吐出量，直到出液口处的压力值回到设定的范围内，此时关闭双向液体泵，停止对缓冲室内补充光阻液。达到了在涂布时对缓冲室内的各个部位的压力进行调节的目的。而对于前期的准备工序时，通过压力调节装置对缓冲室各个部位补充光阻液，同时将各个位置处的压力值调节一致，并且整体的缓冲室的压力值通过缓冲室压力检测器26进行检测，当缓冲室压力检测器检测的压力值符合涂布的要求时，即可使用控制器导通出液口处的管道的电磁阀门111打开出液口，随时可以进行喷涂作业，完成前期对缓冲室的准备工作，提高光阻刀头的工作效率和涂布的质量。为了能高效的完成刀头本体使用前的准备工作，本实施例中在刀头本体的共壁面上安装一个总注液管25，总注液管液位软管，其用于连接泵和缓冲室输送光阻液，且总注液管直径会大于调节支管的直径。因此在开始准备期间，开启总注液管上的液体泵251，通过液体泵将存储罐内的光阻液快速抽送至缓冲室内，快速将缓冲室填装完成，并使得缓冲室内的压力值保持在设定的范围值内。达到了减少准备的时间的效果，并提高工作的效率。而且，若是在提高喷涂的效率后，光阻液的输送量大于补充量时，也可以通过总注液管进行补充，保证刀头本体在涂布时正常运行，避免涂布中断造成涂布不良的情况发生。本实施例中在出液口处可以安装喷头112，通过喷头可以改变光阻液的喷出的方式，例如柱状喷涂或花洒喷涂等等方式，从而满足不同的玻璃基板的喷涂方式，提高其实用性。为了提高光阻刀头的安全性，在缓冲室与刀头本体的中空结构之间预留有一定的非密封的空间，且在刀头本体的中空结构内的缓冲室的内侧壁上设置有减压阀40，当缓冲室内压力异常过高时，减压阀会被其内的光阻液冲开，使得缓冲室内减压，同时避免刀头本体发生爆炸，有效的确保了刀头本体的安全性能。需要说明的是，尽管在本文中已经对上述各实施例进行了描述，但并非因此限制本发明的专利保护范围。因此，基于本发明的创新理念，对本文所述实施例进行的变更和修改，或利用本发明说明书及附图内容所作的等效结构或等效流程变换，直接或间接地将以上技术方案运用在其他相关的技术领域，均包括在本发明的专利保护范围之内。

权利要求：1.一种光阻刀头，其特征在于：包括刀头本体、缓冲室和控制器；所述刀头本体为中空结构，所述缓冲室设置在刀头本体的中空结构内，且所述缓冲室的一侧壁与刀头本体的一侧壁共壁设置；所述缓冲室设置有压力调节装置和出液口，所述压力调节装置包括调节支管、压力检测器和双向液体泵，所述调节支管的一端与缓冲室相导通设置，所述调节支管的另一端与双向液体泵的端口连接，压力检测器与控制器电连接，控制器与双向液体泵电连接，所述压力检测器设置在缓冲室内；所述压力调节装置设置有多个，多个所述压力调节装置等间距设置在缓冲室与刀头本体的共壁外侧面上；所述出液口设置有多个，多个出液口沿着同一条水平线等高度的设置在缓冲室与刀头本体的共壁的外侧面上。2.根据权利要求1所述的光阻刀头，其特征在于：所述缓冲室的长度与刀头本体的中空结构的长度相同。3.根据权利要求1所述的光阻刀头，其特征在于：所述缓冲室上还设置有总注液管，所述总注液管位于缓冲室与刀头本体的共壁外侧面上。4.根据权利要求3所述的光阻刀头，其特征在于：还包括液体泵，所述液体泵与总注液管连接设置，液体泵用于对缓冲室补充光阻液涂料。5.根据权利要求1所述的光阻刀头，其特征在于：还包括缓冲室压力检测器，所述缓冲室压力检测器设置在缓冲室内，缓冲室压力检测器与控制器电连接设置。6.根据权利要求1所述的光阻刀头，其特征在于：所述出液口设置有喷头。7.根据权利要求6所述的光阻刀头，其特征在于：所述喷头与出液口之间的管道上设置有电磁阀门，所述电磁阀门与控制器电连接设置。

百度查询： 福建华佳彩有限公司 一种光阻刀头

免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。

阅读全文 双屏查看 官方信息 专利公告 收藏专利 下载PDF 下载WORD