申请/专利权人：常州时创能源股份有限公司

申请日：2023-09-07

公开（公告）日：2024-04-12

公开（公告）号：CN220774395U

主分类号：H01L31/18

分类号：H01L31/18;H01L21/677;H01L21/687

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.04.12#授权

摘要：本实用新型公开了一种硅片高温板链式输送装置，属于硅片输送技术领域，包括加热腔体，设置在加热腔体下方的板链式输送机，加热腔体底端沿长度方向贯穿设有通槽，板链式输送机的链条上并排设有多个下层托架，多个下层托架顶部侧面设有插槽，多个插槽中插接连接有上层托架，多个上层托架顶端穿过通槽延伸至加热腔体内部且并排设有多个支撑杆，多个支撑杆顶端外侧插接连接有陶瓷帽，多个下层托架顶部螺纹连接有将上层托架底部固定在插槽中的紧固件，硅片在运载过程中不会发生相对位移，防止磨损、划伤硅片，板链式输送机远离加热腔体，防止受高温影响发生形变，不会产生粉尘，满足了加热腔体洁净度的要求，提高了适用范围。

主权项：1.一种硅片高温板链式输送装置，包括加热腔体13，设置在加热腔体13下方的板链式输送机1，其特征在于，所述加热腔体13底端沿长度方向贯穿设有通槽14，所述板链式输送机1的链条上并排设有多个下层托架2，多个所述下层托架2顶部侧面设有插槽3，多个所述插槽3中插接连接有上层托架4，多个所述上层托架4顶端穿过通槽14延伸至加热腔体13内部且并排设有多个支撑杆5，多个所述支撑杆5顶端外侧插接连接有陶瓷帽8，多个所述下层托架2顶部螺纹连接有将上层托架4底部固定在插槽3中的紧固件。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 常州时创能源股份有限公司 一种硅片高温板链式输送装置

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