申请/专利权人：广州澳企实验室技术股份有限公司

申请日：2023-06-19

公开（公告）日：2024-04-12

公开（公告）号：CN220769016U

主分类号：E04H5/00

分类号：E04H5/00;F24F8/108;F24F13/28;F24F11/64;F24F11/89;F24F11/74;F26B5/16;E04B1/66;E04B1/92;E04B9/00;E04B9/02;E04B9/06

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.04.12#授权

摘要：本实用新型提供了一种高精度恒温恒湿微电子百级洁净实验室，包括：实验室外墙组合体；安装在实验室外墙组合体内的实验室内墙组合体，所述实验室外墙组合体与实验室内墙组合体之间形成风道；安装在实验室外墙组合体上方的顶板；安装在顶板外侧的全新风洁净空调控制系统；安装在实验室外墙组合体顶部外侧的室外风布风装置；以及安装在验室外墙组合体内的FFU风量及地板回风风量控制系统。本高精度恒温恒湿微电子百级洁净实验室设计合理，可以实现对微电子实验室内恒温恒湿、风速均匀环境的精密控制，确保微电子实验室内空气百级洁净度和低浓度化学污染气体，降低了微电子芯片元件实验样品制程中的干扰因数，提高芯片生产质量。

主权项：1.一种高精度恒温恒湿微电子百级洁净实验室，其特征在于包括：实验室外墙组合体；安装在实验室外墙组合体内的实验室内墙组合体，所述实验室外墙组合体与实验室内墙组合体之间形成风道；安装在实验室外墙组合体上方的顶板；安装在顶板外侧的全新风洁净空调控制系统；安装在实验室外墙组合体顶部外侧的室外风布风装置，所述室外风布风装置用于将全新风洁净空调控制系统处理的恒温恒湿新风均匀分布至实验室内墙组合体的顶部；安装在验室外墙组合体内的FFU风量及地板回风风量控制系统，所述FFU风量及地板回风风量控制系统用于根据现场情况分组系统进行风量微调控制。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 广州澳企实验室技术股份有限公司 一种高精度恒温恒湿微电子百级洁净实验室

免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。

阅读全文 双屏查看 官方信息 专利公告 收藏专利 下载PDF 下载WORD