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【实用新型】一种鳍形结构的相变开关器件_湖北九峰山实验室_202321932185.0 

申请/专利权人:湖北九峰山实验室

申请日:2023-07-20

公开(公告)日:2024-04-12

公开(公告)号:CN220776403U

主分类号:H10N70/00

分类号:H10N70/00;H10N70/20;H10N79/00

优先权:

专利状态码:有效-授权

法律状态:2024.04.12#授权

摘要:本实用新型涉及射频开关技术领域,具体涉及一种鳍形结构的相变开关器件。该相变开关器件至少包括衬底、薄膜电阻和相变材料层,所述薄膜电阻位于衬底上表面上且沿加热电极方向呈鳍形结构,所述薄膜电阻沿射频电极方向的纵截面形状包括但不限于矩形、三角形、圆形,所述相变材料层位于薄膜电阻上。通过将薄膜电阻改进为沿加热电极方向呈鳍形结构,侧壁部分增大了薄膜电阻与相变材料之间加热的接触面积,加热效果更好,晶化过程中的转变速度变快,提高了器件的开关速度,并且可使相变材料晶化程度提高,减小器件在开态下的射频损耗,工作效率更高。

主权项:1.一种鳍形结构的相变开关器件,其特征在于,至少包括衬底1、薄膜电阻3和相变材料层5,所述薄膜电阻3位于衬底1上表面上且沿加热电极方向呈鳍形结构,所述薄膜电阻3沿射频电极方向的纵截面形状包括但不限于矩形、三角形、圆形,所述相变材料层5位于薄膜电阻3上。

全文数据:

权利要求:

百度查询: 湖北九峰山实验室 一种鳍形结构的相变开关器件

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