申请/专利权人：浙江大学

申请日：2024-01-30

公开（公告）日：2024-04-23

公开（公告）号：CN117647490B

主分类号：G01N21/01

分类号：G01N21/01;G01N21/31

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.04.23#授权;2024.03.22#实质审查的生效;2024.03.05#公开

摘要：本发明公开了一种基于吸收光谱的CVD在线原位表征系统和方法，属于半导体生产设备技术领域。该CVD原位表征系统包括吸收光谱检测装置、光谱移动与光路校准装置和管式CVD设备，通过对现有管式CVD设备进行改进并配合所提出的环境补偿方法，实现了对于高温低压环境下的化学气相沉积过程的准确检测，而且由于本申请可以实现实时检测，因此可以获得样品或反应体系随时间变化的规律，结合系统温度和压力的变化，进一步获得样品或反应体系随温度、压力等环境变化的规律，从而能够确定最佳沉积条件。另外通过自动光路校准使得该系统可以在化学气相沉积过程对石英管内任意位置处的样品的沉积情况进行就检测，进而可以快速确定样品准确的生长窗口。

主权项：1.一种基于吸收光谱的CVD在线原位表征系统，其特征在于，所述系统包括：吸收光谱检测装置、光谱移动与光路校准装置和管式CVD设备；其中，吸收光谱检测装置包括光源、光源发射装置、光源接收装置以及与光源接收装置相连的光谱仪；光谱移动与光路校准装置包括两条移动轨道，光源发射装置和光源接收装置分别安装在两条移动轨道上；管式CVD设备包括炉膛、石英管以及石英管内用于承载沉积样品的石英舟；炉膛上开设有平行于石英管的两条对称通光槽，两条通光槽以石英管轴向中心线为对称轴，光谱移动与光路校准装置中的两条移动轨道分别位于炉膛外侧对应两条通光槽的位置处，从而使得光源发射装置和光源接收装置能够沿着石英管的轴向直线移动以实现对于石英管内任一位置处的样品的原位检测；光源发射装置发出的光通过通光槽、透过石英管以及其中的沉积样品到达光源接收装置，进而通过光谱仪根据接收到的光源进行光谱分析实现对于沉积样品的原位检测；所述光源为白光光源，且光谱连续，波长至少覆盖200-1050nm，其中波长在250nm-400nm范围内的紫外波段信号光通量＞10mWmm2srnm；所述通过光谱仪根据接受到的光源进行光谱分析时，沉积样品的吸收光谱的获取方法包括：利用吸收光谱检测装置获取管式CVD设备中不放置样品时不同间隔温度下的红光补偿光谱；获取沉积过程中的实时吸收光谱；将实时吸收光谱减去对应温度下的红光补偿光谱作为沉积样品的最终光谱。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 浙江大学 一种基于吸收光谱的CVD在线原位表征系统和方法

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