申请/专利权人：苏州锐杰微科技集团有限公司

申请日：2024-02-01

公开（公告）日：2024-04-23

公开（公告）号：CN117672938B

主分类号：H01L21/677

分类号：H01L21/677

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.04.23#授权;2024.03.26#实质审查的生效;2024.03.08#公开

摘要：本发明属于电子元件技术领域，具体涉及一种芯片生产用基板取放设备及其工作方法，通过运输装置，所述运输装置适于运输载具；搬运装置，所述搬运装置设置在所述运输装置上方，所述搬运装置适于将基板吸取后移动至所述载具的上方；剥离装置，所述剥离装置设置在所述运输装置上方，所述剥离装置适于将搬运装置吸取的基板剥离在载具上；实现了将基板准确的放置在载具上，并且确保基板在载具上可以精确的限位。

主权项：1.一种芯片生产用基板取放设备，其特征在于，包括：运输装置，所述运输装置适于运输载具；搬运装置，所述搬运装置设置在所述运输装置上方，所述搬运装置适于将基板吸取后移动至所述载具的上方；剥离装置，所述剥离装置设置在所述运输装置上方，所述剥离装置适于将搬运装置吸取的基板剥离在载具上；所述剥离装置包括：框架和一对剥离机构；所述框架设置在底座上，并且所述框架架设在所述运输装置上方；所述剥离机构并排设置在所述框架上，所述剥离机构适于将搬运装置吸取的基板剥离在载具上；所述剥离机构包括：第一气缸和转动组件；所述第一气缸设置在所述框架的外壁上；所述框架的内壁上开设有第一通槽，所述转动组件设置在所述第一通槽内，所述转动组件与所述第一通槽转动连接；所述第一气缸适于带动所述转动组件转动。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 苏州锐杰微科技集团有限公司 一种芯片生产用基板取放设备及其工作方法

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