申请/专利权人：上海盛韬半导体科技有限公司

申请日：2023-09-27

公开（公告）日：2024-04-23

公开（公告）号：CN220828751U

主分类号：F17D1/02

分类号：F17D1/02;F17D3/01;F17D5/00

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.04.23#授权

摘要：一种用于特殊气体大流量供应设备，包括：柜体、电控箱、深度吹扫箱、原料气供应单元、加热模块、吹扫单元、控制显示操作单元、报警单元和紧急停止按钮，电控箱与柜体顶部连接，深度吹扫箱与柜体内上部连接，原料气供应单元与柜体和深度吹扫箱内部连接，加热模块与原料气供应单元连接，吹扫单元与原料气供应单元连接，控制显示操作单元与电控箱、原料气供应单元、吹扫单元和报警单元连接，报警单元与电控箱连接，紧急停止按钮与柜体连接。本实用新型与传统技术相比，通过设计气动阀控制工艺气的流向，实现自己完成原料气体输入、特气供应、管路吹扫从而避免因人为误操作引起的设备损害和人身危害。

主权项：1.一种用于特殊气体大流量供应设备，其特征在于，包括：柜体100、电控箱200、深度吹扫箱300、原料气供应单元400、加热模块500、吹扫单元600、控制显示操作单元700、报警单元800和紧急停止按钮900，所述电控箱200与柜体100顶部连接，所述深度吹扫箱300与柜体100内上部连接，所述原料气供应单元400与柜体100和深度吹扫箱300内部连接，所述加热模块500与原料气供应单元400连接，所述吹扫单元600与原料气供应单元400连接，所述控制显示操作单元700与电控箱200、原料气供应单元400、吹扫单元600和报警单元800连接，所述报警单元800与电控箱200连接，所述紧急停止按钮900与柜体100连接；其中，所述原料气供应单元400包括：左供应气入口隔离阀410、左入口气动阀420、左过流开关430、左一级调压阀440、左二级调压阀450、左原料气压力传感器460、左一级调压压力传感器470、左二级调压压力传感器480、左供应气动隔离阀490、左一级过滤器4100、左二级过滤器4200、左供应气出口隔离阀4300、左供应气出口阀4400、右供应气入口隔离阀401、右入口气动阀402、右过流开关403、右一级调压阀404、右二级调压阀405、右原料气压力传感器406、右一级调压压力传感器407、右二级调压压力传感器408、右供应气动隔离阀409、右一级过滤器4010、右二级过滤器4020、右供应气出口隔离阀4030和右供应气出口阀4040，所述左供应气入口隔离阀410前端与原料气的入口连接，所述左供应气入口隔离阀410后端通过管路与左一级过滤器4100前端连接，所述左供应气入口隔离阀410后端管路中设置有左原料气压力传感器460，所述左入口气动阀420前端与左一级过滤器4100连接，所述左入口气动阀420后端与左过流开关430前端连接，所述左过流开关430后端通过管路与加热模块500连接，所述左一级调压阀440前端与加热模块500连接，所述左一级调压阀440后端通过管路与左二级调压阀450连接，所述左一级调压阀440后端管路中设置有左一级调压压力传感器470，所述左二级调压阀450后端通过管路与左供应气动隔离阀490连接，所述左二级调压阀450后端管路中设置有左二级调压压力传感器480，所述左二级过滤器4200前端与左供应气动隔离阀490连接，所述左二级过滤器4200后端与左供应气出口隔离阀4300连接，所述左供应气出口隔离阀4300后端通过管路与左供应气出口阀4400连接，所述右供应气入口隔离阀401前端与原料气的入口连接，所述右供应气入口隔离阀401后端通过管路与右一级过滤器4010前端连接，所述右供应气入口隔离阀401后端管路中设置有右原料气压力传感器406，所述右入口气动阀402前端与右一级过滤器4010连接，所述右入口气动阀402后端与右过流开关403前端连接，所述右过流开关403后端通过管路与加热模块500连接，所述右一级调压阀404前端与加热模块500连接，所述右一级调压阀404后端通过管路与右二级调压阀405连接，所述右一级调压阀404后端管路中设置有右一级调压压力传感器407，所述右二级调压阀405后端通过管路与右供应气动隔离阀409连接，所述右二级调压阀405后端管路中设置有右二级调压压力传感器408，所述右二级过滤器4020前端与右供应气动隔离阀409连接，所述右二级过滤器4020后端与右供应气出口隔离阀4030连接，所述右供应气出口隔离阀4030后端通过管路与右供应气出口阀4040连接，所述左供应气入口隔离阀410、左入口气动阀420、左过流开关430、左原料气压力传感器460、左一级调压压力传感器470、左二级调压压力传感器480、左供应气动隔离阀490、右供应气入口隔离阀401、右入口气动阀402、右过流开关403、右原料气压力传感器406、右一级调压压力传感器407、右二级调压压力传感器408和右供应气动隔离阀409与控制显示操作单元700连接。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 上海盛韬半导体科技有限公司 一种用于特殊气体大流量供应设备

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