申请/专利权人:深圳晶源信息技术有限公司
申请日:2023-12-20
公开(公告)日:2024-04-16
公开(公告)号:CN117893554A
主分类号:G06T7/13
分类号:G06T7/13;G06T7/00
优先权:
专利状态码:在审-实质审查的生效
法律状态:2024.05.03#实质审查的生效;2024.04.16#公开
摘要:本发明涉及电子设计自动化技术领域,特别涉及一种显影轮廓提取准确性的验证方法、装置及计算机设备。所述显影轮廓提取准确性的验证方法包括以下步骤:提供掩模版图和表面蚀刻有显影轮廓的晶圆片,基于掩模版图将晶圆片划分为若干个分块;拍摄分块上的显影轮廓以获得若干扫描图像;将若干扫描图像进行合并以获得合并图像;获取合并图像内显影轮廓上所有点的初始坐标;获取合并图像与掩模版图的对应关系,基于对应关系将初始坐标转换为目标坐标;提供仿真模型,目标坐标通过仿真模型获得仿真轮廓;将显影轮廓和仿真轮廓进行比对,以对显影轮廓提取准确性进行验证。寻求到了一种对显影轮廓提取的准确性进行验证的方法。
主权项:1.一种显影轮廓提取准确性的验证方法,其特征在于:包括以下步骤:提供掩模版图和表面蚀刻有显影轮廓的晶圆片,基于掩模版图将晶圆片划分为若干个分块;拍摄分块上的显影轮廓以获得若干扫描图像;将若干扫描图像进行合并以获得合并图像;获取合并图像内显影轮廓上所有点的初始坐标;获取合并图像与掩模版图的对应关系,基于对应关系将初始坐标转换为目标坐标;提供仿真模型,目标坐标通过仿真模型获得仿真轮廓;将显影轮廓和仿真轮廓进行比对,以对显影轮廓提取准确性进行验证。
全文数据:
权利要求:
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