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【发明公布】处理液及处理液容纳体_富士胶片株式会社_202280059303.3 

申请/专利权人:富士胶片株式会社

申请日:2022-08-22

公开(公告)日:2024-04-16

公开(公告)号:CN117897662A

主分类号:G03F7/32

分类号:G03F7/32;H01L21/304

优先权:["20210917 JP 2021-152400","20220128 JP 2022-011363"]

专利状态码:在审-公开

法律状态:2024.04.16#公开

摘要:本发明的课题在于提供一种处理液,该处理液在作为显影液或冲洗液使用的情况下,在其涂布于被涂布面上时抑制缺陷的产生,并且在其容纳于内壁面由金属构成的容器之后而使用时也抑制被涂布面上的缺陷的产生。本发明的课题还在于提供一种处理液容纳体。本发明的处理液含有:脂肪族烃系溶剂;选自由具有碳数为1~3的烃基的羧酸及甲酸所组成的组中的至少一种酸成分;以及含有选自由Fe、Ni及Cr所组成的组中的至少一种金属元素的金属杂质,其中,金属元素的含量相对于酸成分的含量的质量比为1.0×10‑9~3.0×10‑5。

主权项:1.一种处理液,其含有:脂肪族烃系溶剂;选自由具有碳数为1~3的烃基的羧酸及甲酸所组成的组中的至少一种酸成分;以及含有选自由Fe、Ni及Cr所组成的组中的至少一种金属元素的金属杂质,所述金属元素的含量相对于所述酸成分的含量的质量比为1.0×10-9~3.0×10-5。

全文数据:

权利要求:

百度查询: 富士胶片株式会社 处理液及处理液容纳体

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