申请/专利权人：南京华东电子真空材料有限公司

申请日：2023-12-25

公开（公告）日：2024-04-16

公开（公告）号：CN117889671A

主分类号：F27D17/00

分类号：F27D17/00;F27D13/00;F27D7/06

优先权：

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2024.05.03#实质审查的生效;2024.04.16#公开

摘要：本发明涉及真空获得维持技术领域，具体为一种应用于极紫外光刻机的吸气材料及其制备方法，本发明要解决的技术问题为：现有的吸气材料在生产工程中，真空烧结的工艺在烧结吸气材料时，无法将多余的热量进行余热回收利用，技术方案为：包括主体机构，所述烧结热回收机构包括烧结单元，所述打捞处理机构还包括热回收单元，本发明的有益效果为：本发明利余热回收单元，能够在余热回收单元的作用下，方便使用者对吸气材料在烧结时产生的热量进行回收，从而使得回收的热量能够对未烧结的原材料进行加热，减少了吸气材料在烧结时的时间，同时增加了吸气材料在烧结时的效率，达到了方便使用者对未烧结的吸气材料的原材料进行预加热的目的。

主权项：1.一种应用于极紫外光刻机的吸气材料制备设备，包括主体机构（1），其特征在于：所述主体机构（1）包括烧结室（11），所述烧结室（11）的一侧活动连接有防护门（12），所述防护门（12）的数量为两个，两个所述防护门（12）的一侧均固定连接有第一把手（13），两个所述第一把手（13）的两侧均固定安装有两个第一合页（14），所述防护门（12）与烧结室（11）的连接处通过第一合页（14）转动连接，所述烧结室（11）的内壁固定连接有安装板（16），所述安装板（16）的数量为六个，两个所述安装板（16）相对的一侧之间活动连接有烧结板（19），所述烧结板（19）的两侧均固定连接有导向板（17），所述导向板（17）的表面与安装板（16）的内腔滑动连接，所述烧结板（19）的内壁固定安装有分子筛（15），所述烧结板（19）的底部固定连接有推拉杆（18），所述安装板（16）的内腔开设有导向槽（110），所述导向槽（110）的内腔与导向板（17）的表面接触，所述烧结室（11）的一侧设置有烧结热回收机构（2）；所述烧结热回收机构（2）包括烧结单元（21），所述烧结单元（21）设置于烧结室（11）的一侧，所述烧结单元（21）用于对吸气材料的原材料进行烧结；所述烧结热回收机构（2）还包括热回收单元（22），所述热回收单元（22）固定连接于烧结室（11）的一侧，所述热回收单元（22）用于对吸气材料的原材料在烧结时的热量进行回收的目的；所述的内壁设置有与烧结热回收机构（2）配合使用的热输送机构（3），所述热输送机构（3）用于对吸气材料在烧结时产生的热量进行传输。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 南京华东电子真空材料有限公司 一种应用于极紫外光刻机的吸气材料及其制备方法

免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。

阅读全文 双屏查看 官方信息 专利公告 收藏专利 下载PDF 下载WORD