申请/专利权人：北京科益虹源光电技术有限公司

申请日：2022-10-08

公开（公告）日：2024-04-16

公开（公告）号：CN117895313A

主分类号：H01S3/036

分类号：H01S3/036

优先权：

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2024.05.03#实质审查的生效;2024.04.16#公开

摘要：本发明公开了一种单腔气体激光器补气方法、控制系统及准分子激光器。该控制方法包括以下步骤：根据多个实测的放电腔电压与预设的电压均值阈值的差值求得电压差值均值，在电压差值均值大于电压均值阈值的情况下，通过模糊PI控制调整PI参数，计算放电腔补气量，并判断是否对放电腔进行补气，判断实测气压是否大于放电腔气压上限值，如果是则不补气；如果不是则对放电腔进行补气。本发明能够在维持输出能量稳定性的同时增加持续工作时长，降低停机频率，提高生产效率，提高系统的鲁棒性。

主权项：1.一种单腔气体激光器补气方法，其特征在于包括以下步骤：根据多个实测的放电腔电压与预设的电压均值阈值的差值求得电压差值均值，在电压差值均值大于电压均值阈值的情况下，通过模糊PI控制调整PI参数，计算放电腔补气量，并判断是否对放电腔进行补气，判断实测气压是否大于放电腔气压上限值，如果是则不补气；如果不是则对放电腔进行补气。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 北京科益虹源光电技术有限公司 单腔气体激光器补气方法、控制系统及准分子激光器

免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。

阅读全文 双屏查看 官方信息 专利公告 收藏专利 下载PDF 下载WORD