申请/专利权人：中国人民解放军军事科学院防化研究院

申请日：2024-02-02

公开（公告）日：2024-04-16

公开（公告）号：CN117890463A

主分类号：G01N29/036

分类号：G01N29/036;G01N29/22;H10N30/00;H10N30/87;H10N30/853;H10N30/01

优先权：

专利状态码：在审-公开

法律状态：2024.04.16#公开

摘要：本发明属于传感器技术领域，具体涉及一种用于检测甲基膦酸二甲酯蒸气浓度的体声波传感器。所述体声波传感器包括体声波谐振器和气敏材料薄膜；所述气敏材料薄膜涂覆于体声波谐振器上表面；所述体声波谐振器结构为衬底‑电极‑压电层‑电极的三明治构架，谐振频率为GHz量级；所述气敏材料薄膜为基于六氟异丙醇HFIPA官能团修饰的碳纳米管CNT。所述传感器对DMMP蒸气检测灵敏度高，100ppm浓度条件下，灵敏度约为无气敏材料修饰的薄膜体声波谐振器7倍，约为CNT修饰的薄膜体声波谐振器2倍。检测范围大，量程可达0～20mgL，量程范围内测量误差在0.06mgL。

主权项：1.一种用于检测DMMP蒸气浓度的体声波传感器，其特征在于，所述体声波传感器包括体声波谐振器和气敏材料薄膜；所述气敏材料薄膜涂覆于体声波谐振器上表面；所述体声波谐振器结构为衬底-电极-压电层-电极的三明治构架，谐振频率为GHz量级；所述气敏材料薄膜为基于六氟异丙醇HFIPA官能团修饰的碳纳米管CNT。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 中国人民解放军军事科学院防化研究院 一种用于甲基膦酸二甲酯浓度检测的体声波传感器

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