申请/专利权人：三星电机株式会社

申请日：2020-07-30

公开（公告）日：2024-04-16

公开（公告）号：CN112311351B

主分类号：H03H9/02

分类号：H03H9/02;H03H9/05;H03H9/17

优先权：["20190731 KR 10-2019-0093323","20200313 KR 10-2020-0031588"]

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.04.16#授权;2021.11.26#实质审查的生效;2021.02.02#公开

摘要：本公开提供一种体声波谐振器。所述体声波谐振器包括：基板；下电极，设置在所述基板上；压电层，至少部分地覆盖所述下电极；以及上电极，至少部分地覆盖所述压电层。在所述体声波谐振器的表面上，所述下电极、所述压电层和所述上电极全部彼此重叠的有效区域的质心与限定所述有效区域的高宽比的矩形的中心对准。所述有效区域具有相对于穿过限定所述高宽比的所述矩形的所述中心的至少一个轴对称的多边形的形状。所述高宽比大于等于2且小于等于10。

主权项：1.一种体声波谐振器，包括：基板；下电极，设置在所述基板上；压电层，至少部分地覆盖所述下电极；以及上电极，至少部分地覆盖所述压电层，其中，在所述体声波谐振器的表面上，所述下电极、所述压电层和所述上电极全部彼此重叠的有效区域的质心与限定所述有效区域的高宽比的矩形的中心对准，其中，所述有效区域具有相对于穿过限定所述高宽比的所述矩形的所述中心的至少一个轴对称的多边形的形状，并且其中，所述高宽比大于等于2且小于等于10，其中，所述体声波谐振器还包括蚀刻防止部和牺牲层，所述蚀刻防止部被设置为围绕腔，所述牺牲层设置在所述蚀刻防止部的外侧。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 三星电机株式会社 体声波谐振器

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