申请/专利权人：仲恺农业工程学院

申请日：2019-12-29

公开（公告）日：2024-04-16

公开（公告）号：CN111293028B

主分类号：H01J37/32

分类号：H01J37/32

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.04.16#授权;2020.07.10#实质审查的生效;2020.06.16#公开

摘要：本发明公开一种基于随机功率确定H模式放电气压区间的方法及控制装置，通过确定等离子体处理腔室目标工作功率范围中实现H模式放电的随机功率W0，以及测量该功率下实现H模式放电的最小气压Pmin，以及最大气压Pmax；在检测等离子体处理腔室其他工作功率H模式放电模式气压区间时，待检测的气压范围将部分气压范围排除，其减小了检测范围，改善了检测效率，降低了检测复杂性。

主权项：1.一种快速确定特定功率下H模式放电区间的方法，其特征在于：该方法具有以下步骤：第一步，向等离子体处理腔室中通入工作气体，确定等离子体处理腔室目标工作功率范围中实现H模式放电的随机功率W0，以及测量该功率下实现H模式放电的最小气压Pmin，以及最大气压Pmax；第二步，确定工作功率为W，该功率下待确定实现H模式放电的最小气压为P0；将腔室内气压0至Pmin均分为n份；当工作功率W随机功率W0时，依次减小检测气压，检测该气压下是否发生等离子体发光光谱强度的跳变，即A依次取大于1的自然数，n为大于1的自然数且A≤n，即当A取某一值A0时，等离子体发光光谱强度发生跳变，此时等离子体退出H模式放电，功率为W时的H模式放电的最小气压为当工作功率W随机功率W0时，依次增大检测气压，检测该气压下是否发生等离子体发光光谱强度的跳变，即A依次取大于1的自然数，n为大于1的自然数，即当A取某一值A1时，等离子体发光光谱强度发生跳变，此时等离子体进入H模式放电，则气压为工作功率为W时的H模式放电的最小气压；若P≥Pmax仍不能实现等离子体发光光谱强度跳变，则说明在该功率下不能实现H模式放电；第三步，保持工作功率W；当工作功率W随机功率W0时，待确定实现H模式放电的最大跳变气压为其中，B依次取大于1的自然数，n为大于1的自然数，即，当B取某一值B0时，等离子体发光光谱强度发生跳变，此时等离子体退出H模式放电，则气压为功率为W时的H模式放电的最大气压；当工作功率W随机功率W0时，待确定实现H模式放电的最大跳变气压为其中，B依次取大于1的自然数，n为大于1的自然数，即，当B取某一值B1时，等离子体发光光谱强度发生跳变，此时等离子体进入H模式放电，则气压为功率为W时的H模式放电的最大气压；第四步，在工作功率为W时，等离子体维持H模式放电的气压区间为：P0至Pm。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 仲恺农业工程学院 基于随机功率确定H模式放电气压区间的方法及控制装置

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