申请/专利权人：西安交通大学

申请日：2021-11-12

公开（公告）日：2024-04-16

公开（公告）号：CN114088751B

主分类号：G01N23/20008

分类号：G01N23/20008;G01N1/28;G01N1/32

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.04.16#授权;2022.03.15#实质审查的生效;2022.02.25#公开

摘要：本发明公开了一种多层薄膜的透射电镜样品及其制备方法：针对多层薄膜常规透射电镜样品制备过程中，出现不同膜层厚度不均等难点，本发明采用楔形透射电镜样品制备方法，可制备表面平整，基底与各膜层厚度均匀，且有大面积薄区的透射电镜样品。本发明适用于除金刚石以外多层薄膜材料的制备，能通过机械抛光使样品厚度降低到电子束能够透过的厚度，或者样品只需要很短时间的离子减薄就能使样品减薄到电子能够透过的厚度，可显著降低离子减薄过程中择优溅射现象，可实现更大范围电镜观察区域。

主权项：1.一种多层薄膜的透射电镜样品制备方法，其特征在于，包括下述步骤：1）切割预处理：将薄膜切割成长条状，放在溶剂中浸泡，擦拭干净，去除薄膜表面溶剂；2）对粘：将硬化剂与树脂混合得到G1胶，将G1胶涂抹在切割并处理后薄膜表面，将两片薄膜表面贴合在一起，烘烤固化；3）再次切割：将固化后的样品沿法线方向切成数个薄片；4）机械抛光：将切好的样品粘在样品台上，将样品台放在转台上分级抛光样品两面；采用不同砂纸将样品逐级抛光，厚度为500μm，用200目的砂纸，转速为800-1000rmin；厚度为100微米用1000目的砂纸，转速为600-800rmin；将薄膜薄区厚度降低至1μm以下；将样品与样品台分离，即完成透射电镜样品的机械减薄；5）离子减薄：两面同时减薄，控制电压为100-500Kev，进行每面减薄3-5min，样品薄厚度在0.1微米以下，得到多层薄膜的透射电镜样品。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 西安交通大学 一种多层薄膜的透射电镜样品及其制备方法

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