申请/专利权人：信越化学工业株式会社

申请日：2016-10-25

公开（公告）日：2024-04-16

公开（公告）号：CN111679549B

主分类号：G03F1/62

分类号：G03F1/62;G03F1/22

优先权：["20151029 JP 2015-212619","20151216 JP 2015-245060"]

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.04.16#授权;2020.10.20#实质审查的生效;2020.09.18#公开

摘要：提供一种在EUV光刻用防尘薄膜组件中适宜的接着剂和使用其的防尘薄膜组件，该防尘薄膜组件的制造方法，以及EUV光刻用防尘薄膜组件中适宜的接着剂的选择方法。本发明的接着剂为，接着剂的硬化物在300℃的氛围气中进行7日连续静置时的用下述式表示的硬度的变化率为±50％的范围。式：硬度的变化率％＝{所述静置后的硬度－所述静置前的硬度}÷所述静置前的硬度×100。

主权项：1.一种通过接着剂层将防尘薄膜接着于防尘薄膜组件框架上而构成的防尘薄膜组件在EUV光刻中的应用，其特征在于，该接着剂层不包括导热性填充剂，作为该接着剂层，使用接着剂的硬化物在300℃的氛围气中7天连续静置时的用下述式表示的硬度的变化率为±50％的范围内的接着剂层，在EUV光刻的加热时，使用该接着剂层，以保持防尘薄膜和防尘薄膜组件框架之间的附着力，而该接着剂层不会过度硬化和过度软化，式：硬度的变化率％＝{所述静置后的硬度－所述静置前的硬度}÷所述静置前的硬度×100。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 信越化学工业株式会社 EUV光刻用防尘薄膜组件中适宜的接着剂以及用该接着剂的防尘薄膜组件

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