申请/专利权人：国科大杭州高等研究院

申请日：2024-01-05

公开（公告）日：2024-04-16

公开（公告）号：CN117537937B

主分类号：G01J9/02

分类号：G01J9/02;G01B11/26

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.04.16#授权;2024.03.01#实质审查的生效;2024.02.09#公开

摘要：本发明提供的一种抑制差分波前传感技术非线性的指向控制系统，在四象限探测器前增加双平凸透镜的成像系统，通过将测试光束的束腰和成像系统的前焦点都设置在压电快反镜FSM上，将成像系统后焦点和参考光束束腰设置在四象限探测器QPD上，实现测量非线性的抑制，并有效抑制了零位偏移，同时FSM还能实时标定相角转换系数，并依据QPD的测量结果进行高精度的指向控制，能有效确保参考光路和测量光路共轴性。本发明的系统不仅抑制了光束偏移导致的测角非线性和零位偏移，还能有效提高测角的范围，进一步提升指向控制系统的稳定性和可靠性，能够广泛拓展应用在其他的差分波前传感测量的光学系统中。

主权项：1.一种抑制差分波前传感技术非线性的指向控制系统，其特征在于：所述指向控制系统包括激光器、分束器、声光调制器、准直器、14波片、压电快反镜、分束镜、成像系统、四象限探测器和控制器，所述激光器出射激光，经过分束器分束后，由声光调制器移频，产生频差为的两束激光，两束激光由准直器输出后，经过14波片呈现线偏振态；其中，一束由分束镜反射的光束为参考光束，一束由压电快反镜反射的光束为测量光束，参考光束的输出束腰放置于四象限探测器表面，测量光束的束腰位于压电快反镜的面上，垂直入射成像系统后，进入四象限探测器中心，探测测量光束与参考光束的干涉信号，将其转换成电信号后，由控制器对压电快反镜进行驱动，进行相位测量和精密控制；其中，成像系统采用共轭成像以实现测量光束和参考光束在四象限探测器的中心重合，抑制测量的非线性，所述测量光束束腰和成像系统前焦点控制在压电快反镜上，成像系统后焦点和参考光束的束腰控制在四象限探测器上，抑制零位偏移。

全文数据：

权利要求：

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