申请/专利权人：应用材料公司

申请日：2019-08-27

公开（公告）日：2024-04-16

公开（公告）号：CN112868083B

主分类号：H01J37/32

分类号：H01J37/32;H01L21/67;H01L21/683;H01L21/02;C23C16/455

优先权：["20181120 US 16/197,006"]

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.04.16#授权;2021.06.15#实质审查的生效;2021.05.28#公开

摘要：本公开的实施例总体上涉及一种在半导体制造中使用的系统。更具体地，本公开的实施例涉及一种用于脉冲式DC偏压和箝位基板的系统。在一个实施例中，系统包括等离子体腔室，所述等离子体腔室具有ESC以用于支撑基板。电极嵌入在ESC中并电耦合至偏压与箝位电路。偏压与箝位电路至少包括整形DC脉冲电压源和箝位网络。箝位网络包括DC电压源和二极管，以及电阻器。整形DC脉冲电压源与箝位网络并联连接。当用脉冲式DC电压偏压基板时，偏压与箝位网络自动维持基本上恒定的箝位电压，所述箝位电压是跨电极与基板的压降，从而导致改良了基板的箝位。

主权项：1.一种用于偏压与箝位基板的系统，包含：等离子体工艺腔室，所述等离子体工艺腔室包含基板支撑组件，所述基板支撑组件包含静电卡盘，其中所述静电卡盘包含介电材料和嵌入在所述介电材料中的电极，其中第一整形DC脉冲电压源和箝位网络连接至所述电极；以及偏压与箝位电路，所述偏压与箝位电路耦接至所述等离子体工艺腔室，所述偏压与箝位电路包含：第一整形DC脉冲电压源，所述第一整形DC脉冲电压源输出脉冲串；以及箝位网络，所述箝位网络在第一节点与接地节点之间与所述第一整形DC脉冲电压源并联，所述箝位网络包含：直流电压源，所述直流电压源耦合到所述接地节点和第二节点；二极管，所述二极管耦合到所述第一节点和所述第二节点，所述直流电压源和所述二极管用于建立恒定的箝位电压；电容器，所述电容器耦合到所述接地节点和所述第二节点；以及电阻器，所述电阻器耦合到所述第一节点和所述第二节点并且与所述二极管并联。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 应用材料公司 使用脉冲式DC偏压时的自动ESC偏压补偿

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