申请/专利权人：艾克塞利斯科技公司

申请日：2019-08-23

公开（公告）日：2024-04-16

公开（公告）号：CN112655081B

主分类号：H01L21/68

分类号：H01L21/68;G01N21/95

优先权：["20180828 US 16/114,745"]

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.04.16#授权;2021.09.03#实质审查的生效;2021.04.13#公开

摘要：一种工件对准系统，具有光发射装置，通过第一偏光装置将光束引导至工件的第一侧。被定位在该工件第二侧的光接收装置通过该工件与该光接收装置之间的第二偏光装置接收该光束。工件支撑架支撑该工件。旋转设备绕着支撑轴选择性支撑与旋转该工件支撑架。控制器基于被该光接收装置接收的光束量而决定该工件的位置。该控制器至少部分基于该工件支撑架的旋转位置以及该光接收装置接收的光束的至少一部分，决定该工件被支撑与旋转时该工件的位置。

主权项：1.一种工件对准系统，包括：光发射装置，被配置成沿着路径将一个或多个波长的光束引导至和工件相关联的工件平面的第一侧，且其中，所述路径和所述工件的周围区相关联；第一偏光装置，被设置在所述光发射装置与所述工件平面之间；光接收装置，被定位成沿着第一路径，并且被配置成接收所述工件平面的第二侧上的所述光束，其中，所述第二侧和所述第一侧反向；第二偏光装置，被设置在所述工件平面与所述光接收装置之间；工件支撑架，被配置成沿着所述工件平面选择性支撑所述工件；旋转设备，被操作地耦接至所述工件支撑架，并且被配置成绕着支撑轴选择性旋转所述工件支撑架；以及控制器，被配置成以当所述工件和所述路径交叉时，基于穿过所述工件而被所述光接收装置接收的光束量来决定所述工件的位置，其中，所述控制器被配置成决定，当所述工件通过所述工件支撑架被支撑与旋转时，相对于所述支撑轴的所述工件的位置，其中，所述工件的所述位置的所述决定至少部分基于所述工件支撑架的旋转位置，以及和所述工件支撑架的所述旋转位置相关联的被所述光接收装置接收的所述光束的至少一部分。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 艾克塞利斯科技公司 用于对准透光双折射工件的系统和方法

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