申请/专利权人：中科同帜半导体(江苏)有限公司

申请日：2023-09-15

公开（公告）日：2024-04-16

公开（公告）号：CN220793877U

主分类号：F27D1/18

分类号：F27D1/18

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.04.16#授权

摘要：本实用新型涉及真空热压炉技术领域，提供一种芯片真空热压炉的炉门锁紧机构，包括炉盖，所述炉盖的四周设有旋转锁圈；所述旋转锁圈缺口处设有插板；炉盖上支撑座和炉盖下支撑座固定在所述炉盖的一侧；在所述炉盖上支撑座和所述炉盖下支撑座之间设有耳柄，插销轴依次穿过所述炉盖上支撑座、所述耳柄的第一侧和所述炉盖下支撑座；所述耳柄的第二侧设有炉门限位组件，所述耳柄的第二侧设有外筒体支撑座并铰接，防止炉盖关闭后被冲击打开。

主权项：1.一种芯片真空热压炉的炉门锁紧机构，其特征在于，包括炉盖，所述炉盖的四周设有旋转锁圈；所述旋转锁圈缺口处设有插板；炉盖上支撑座和炉盖下支撑座固定在所述炉盖的一侧；在所述炉盖上支撑座和所述炉盖下支撑座之间设有耳柄，所述耳柄的第一侧内设有插销轴，所述插销轴依次穿过所述炉盖上支撑座、所述耳柄的第一侧和所述炉盖下支撑座；所述耳柄的第二侧设有炉门限位组件，所述耳柄的第二侧设有外筒体支撑座并铰接。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 中科同帜半导体(江苏)有限公司 一种芯片真空热压炉的炉门锁紧机构及芯片真空热压炉

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