申请/专利权人:沈阳成功科技有限公司;中科(沈阳)产业技术创新研究院有限公司
申请日:2023-09-15
公开(公告)日:2024-04-16
公开(公告)号:CN220788766U
主分类号:C23C14/50
分类号:C23C14/50
优先权:
专利状态码:有效-授权
法律状态:2024.04.16#授权
摘要:一种激光折射镜冷却载放台,所属激光折射镜冷却技术领域,包括载台,载台的台面上固定安装有第一固定架和第二固定架,第一固定架的前方固定安装有激光折射镜A,第二固定架的后方固定安装有激光折射镜B,载台的台面上固定安装有两个用于安装真空波纹管的真空波纹管连接件,左侧真空波纹管连接件内贯穿安装有第一循环冷却管组,右侧真空波纹管连接件内贯穿安装有第二循环冷却管组,第二循环冷却管组盘绕在激光折射镜A的上方,第一循环冷却管组和第二循环冷却管组均通过导水管连接外部冷水循环系统,本实用新型能够利用第一循环冷却管组和第二循环冷却管组对激光折射镜A和激光折射镜B进行降温,以保证激光折射镜的寿命和激光折射的效果。
主权项:1.一种激光折射镜冷却载放台,包括载台1,所述载台1的台面上固定安装有第一固定架2和第二固定架3,所述第一固定架2的前方固定安装有激光折射镜A4,所述第二固定架3的后方固定安装有激光折射镜B5,其特征在于,所述载台1的台面上固定安装有两个用于安装真空波纹管的真空波纹管连接件9,左侧所述真空波纹管连接件9内贯穿安装有第一循环冷却管组7,所述第一循环冷却管组7环绕在第二固定架3与激光折射镜B5之间,右侧所述真空波纹管连接件9内贯穿安装有第二循环冷却管组8,所述第二循环冷却管组8盘绕在激光折射镜A4的上方,所述第一循环冷却管组7和第二循环冷却管组8均通过导水管连接外部冷水循环系统。
全文数据:
权利要求:
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