申请/专利权人：株式会社岛津制作所

申请日：2021-09-17

公开（公告）日：2024-04-26

公开（公告）号：CN114324981B

主分类号：G01Q30/00

分类号：G01Q30/00

优先权：["20201009 JP 2020-171569"]

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.04.26#授权;2022.04.29#实质审查的生效;2022.04.12#公开

摘要：本发明提供一种扫描探针显微镜，能够在极性溶剂中获取试样表面的形状和电位分布的三维信息。扫描探针显微镜具备：试样工作台；悬臂；移动机构，其使试样工作台与悬臂的基端之间的距离发生变化；激振部，其使悬臂进行振动；位移检测器，其检测探针的位移；测定控制部，其针对多个测定点中的各个测定点执行如下的测定动作：在多个位置处执行在对悬臂进行激振的状态下检测探针的位移的处理；表面形状信息获取部，其通过基于探针的位移求出悬臂的挠曲量，来获取所述试样的表面形状的信息；以及电位信息获取部，其通过基于探针的位移求出该位移的振幅的大小或相位的变化量，来获取在与试样表面垂直的方向上的电位分布的信息。

主权项：1.一种扫描探针显微镜，具备：试样工作台，其用于载置试样；悬臂，其基端被固定，并且在顶端设置有探针；移动机构，其使所述试样工作台与所述基端之间的距离变化；激振部，其使所述悬臂以预先决定的频率和振幅进行振动；位移检测器，其检测探针相对于所述基端的位移；测定控制部，其针对预先设定于所述试样的多个测定点中的各个测定点执行如下的测定动作：在所述试样工作台与所述基端之间的距离不同的多个位置处执行在通过所述激振部对所述悬臂进行激振的状态下检测规定时间的所述探针的位移的处理；表面形状信息获取部，其针对所述多个测定点中的各个测定点，通过基于所述多个位置中的各个位置处的在所述规定时间内的所述探针的位移求出所述悬臂的挠曲量，来获取所述试样的表面形状的信息；以及电位信息获取部，其针对所述多个测定点中的各个测定点，通过基于所述多个位置中的各个位置处的在所述规定时间内的所述探针的位移求出该位移的振幅的大小或相位的变化量，来获取在与所述试样的表面垂直的方向上的电位分布的信息。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 株式会社岛津制作所 扫描探针显微镜

免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。

阅读全文 双屏查看 官方信息 专利公告 收藏专利 下载PDF 下载WORD