申请/专利权人：冯·阿登纳资产股份有限公司

申请日：2023-04-25

公开（公告）日：2024-04-19

公开（公告）号：CN117904587A

主分类号：C23C14/50

分类号：C23C14/50

优先权：["20221018 DE 102022127290.7"]

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2024.05.07#实质审查的生效;2024.04.19#公开

摘要：各种实施方式涉及基板载体系统、运输设备和基板载体系统的用途。该基板载体系统100包括：基板接收区域120；底板110，底板具有对基板接收区域限界的基板支承面111，接收在基板接收区域120中的基板121可以放置在基板支承面上；其中底板110具有至少一个纵向延伸的槽112，该槽沿第一方向对基板支承面111限界；至少一个条带130，该条带插入槽112中，条带以第一部段131接合到基板接收区域下方并且以第二部段132侧向地对基板接收区域120限界。

主权项：1.一种基板载体系统100，包括：·基板接收区域120；·底板110，所述底板具有对所述基板接收区域限界的基板支承面111，接收在所述基板接收区域120中的基板121能够放置在所述基板支承面上；·其中所述底板110具有至少一个纵向延伸的槽112，所述槽112沿第一方向对所述基板支承面111限界；和·至少一个条带130，所述条带插入所述槽112中，所述条带以第一部段131接合到所述基板接收区域下方并且以第二部段132沿所述第一方向对所述基板接收区域120限界。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 冯·阿登纳资产股份有限公司 基板载体系统、运输设备和基板载体系统的用途

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