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【发明公布】一种含钌溅射靶材废料的回收方法及装置_中南大学_202311705216.3 

申请/专利权人:中南大学

申请日:2023-12-12

公开(公告)日:2024-04-19

公开(公告)号:CN117904438A

主分类号:C22B7/00

分类号:C22B7/00;C22B1/00;C22B11/02;C25C1/20

优先权:

专利状态码:在审-实质审查的生效

法律状态:2024.05.07#实质审查的生效;2024.04.19#公开

摘要:本发明提供一种含钌溅射靶材废料综合回收方法及装置,所述方法具体包括以下步骤:1将含钌溅射靶材废料、捕收剂、FeO源以及造渣剂均匀破碎并混合;2将混合物进行熔炼,得到富铂族金属合金、熔渣和烟尘,对烟尘进行冷却,收集烟尘中的粗RuO2、RuO4;3将富铂族金属合金进行电解,得到富铂族金属的阳极泥,继续提纯,得到富铂族金属,所述富铂族金属包括钌金属。本发明能够高效收集含钌溅射靶材废料中的钌,同时能够进行含钌溅射靶材废料中其它铂族贵金属的回收再利用,适用于工业废弃物中的有价金属综合循环再生。

主权项:1.一种含钌溅射靶材废料综合回收方法,其特征在于,所述方法具体包括以下步骤:1将含钌溅射靶材废料、捕收剂、FeO源以及造渣剂破碎并混合;2将步骤1得到的混合物进行熔炼,得到富铂族金属合金、熔渣和烟尘,对烟尘进行冷却,收集烟尘中的粗RuO2、RuO4;3将步骤2得到的富铂族金属合金进行电解,得到富铂族金属的阳极泥,继续提纯,得到富铂族金属,所述富铂族金属包括钌。

全文数据:

权利要求:

百度查询: 中南大学 一种含钌溅射靶材废料的回收方法及装置

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