申请/专利权人：浙江丽水中欣晶圆半导体科技有限公司

申请日：2023-12-08

公开（公告）日：2024-04-19

公开（公告）号：CN117904712A

主分类号：C30B25/12

分类号：C30B25/12;C30B23/02;C30B29/06;H01L21/67;H01L21/687

优先权：

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2024.05.07#实质审查的生效;2024.04.19#公开

摘要：本发明涉及外延炉的技术领域，且公开了一种单片式外延设备及方法，包括炉体，炉体上方设置有顶盖，炉体上设置有连接台，炉体上固定安装有支撑板，顶盖设置在支撑板上，连接台上设置有托板，托板上侧开设有若干个凹槽，每个凹槽内均活动连接有基座，每个基座外侧壁均开设有环形壁槽，通过若干个基座可以同时加工若干个外延硅片，向下旋转移动固定柱，当固定柱与连接管分离后，就可以向上移动固定板，从而就可以将若干个基座逐一取出，逐一就可以方便用户更换，同时可以方便用户逐一清洗每个基座，从而避免其中一个基座损坏导致需要更换整个托板的情况产生，同时可以更换不同大小的基座，这样就可以同时加工不同大小的硅片。

主权项：1.一种单片式外延设备，包括炉体（1），炉体（1）上方设置有顶盖（5），其特征在于：所述炉体（1）上设置有连接台（17），炉体（1）上固定安装有支撑板（7），顶盖（5）设置在支撑板（7）上，连接台（17）上设置有托板（16），托板（16）上侧开设有若干个凹槽（24），每个凹槽（24）内均活动连接有基座（23），每个基座（23）外侧壁均开设有环形壁槽（22），托板（16）上侧设置有固定板（2），固定板（2）上开设有若干个通槽（30），每个通槽（30）分别套在每个环形壁槽（22）上，托板（16）中心处开设有连接槽（25），固定板（2）上固定贯穿有连接管（29），连接管（29）内螺纹连接有固定柱（28），固定柱（28）下端固定安装有圆板（27），连接管（29）与连接槽（25）活动连接，圆板（27）上侧与托板（16）下侧贴合。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 浙江丽水中欣晶圆半导体科技有限公司 一种单片式外延设备及方法

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