申请/专利权人：京东方科技集团股份有限公司

申请日：2022-06-29

公开（公告）日：2024-04-19

公开（公告）号：CN117916190A

主分类号：B81B3/00

分类号：B81B3/00;G06F3/041

优先权：

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2024.05.07#实质审查的生效;2024.04.19#公开

摘要：一种MEMS开关器件及电子设备，MEMS开关器件包括衬底基板1、膜桥结构2以及依次排列且间隔设置在衬底基板1的第一侧表面M的第一地线31、信号线5和第二地线32；膜桥结构2的第一端部L与第一地线31电连接，膜桥结构2的与第一端部L相对设置的第二端部N与第二地线32电连接；膜桥结构2包括膜桥本体结构21以及设置在膜桥本体结构21上的至少一个凸出结构22，凸出结构22沿垂直于衬底基板1的第一侧表面M的方向BB’相对于膜桥本体结构21凸出设置。

主权项：一种微机电系统MEMS开关器件，包括：衬底基板、膜桥结构以及依次排列且间隔设置在所述衬底基板的第一侧表面的第一地线、信号线和第二地线；所述膜桥结构的第一端部与所述第一地线电连接，所述膜桥结构的与所述第一端部相对设置的第二端部与所述第二地线电连接；所述膜桥结构包括膜桥本体结构以及设置在所述膜桥本体结构上的至少一个凸出结构，所述凸出结构沿垂直于所述衬底基板的第一侧表面的方向相对于所述膜桥本体结构凸出设置。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 京东方科技集团股份有限公司 MEMS开关器件及电子设备

免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。

阅读全文 双屏查看 官方信息 专利公告 收藏专利 下载PDF 下载WORD