申请/专利权人：长飞(武汉)光系统股份有限公司

申请日：2021-12-10

公开（公告）日：2024-04-19

公开（公告）号：CN114185127B

主分类号：G02B6/02

分类号：G02B6/02

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.04.19#授权;2022.10.14#实质审查的生效;2022.03.15#公开

摘要：本发明涉及光纤无源器件的超快激光制造技术领域，尤其涉及一种光栅型增益平坦滤波器的飞秒激光刻写系统，包括光源、光谱仪、高精度单轴位移台、控制模块和激光器；所述光源用于发出测试光信号，并经过未加工光纤至光谱仪显示光源的光谱曲线；所述控制模块用于读取实时光谱曲线，并对比录入的目标光谱曲线，当飞秒激光在该位置曝光足够，使实时光谱曲线与目标光谱曲线重合后，驱动高精度单轴位移台沿光纤轴向进行位移，对下一位置进行曝光，直至实时光谱曲线与目标曲线完全一致后，控制模块驱动激光器关闭激光。本发明读取光谱仪实时数据，并对比录入的目标曲线，通过控制模块来移动光纤位置，调整曝光量来实现任意光谱曲线的GFF的刻写。

主权项：1.一种光栅型增益平坦滤波器的飞秒激光刻写系统，其特征在于：包括光源（1）、光谱仪（5）、高精度单轴位移台（2）、控制模块（3）和激光器（4）；所述光源（1）用于发出测试光信号，并经过还未加工的光纤至光谱仪（5）显示光源（1）的光谱曲线；所述激光器（4）用于在光纤的被加工区域进行激光曝光，产生光致折变区域，所述光谱仪（5）用于读出实时光谱曲线变化；所述控制模块（3）与高精度单轴位移台（2）、光谱仪（5）电连接并进行过程控制，所述激光器（4）为飞秒激光器；所述控制模块（3）用于读取实时光谱曲线，并对比录入的目标光谱曲线，当飞秒激光在光纤的某一位置曝光足够，使实时光谱曲线与目标光谱曲线重合后，驱动高精度单轴位移台（2）沿光纤轴向进行移动，对光纤的下一位置进行曝光，直至实时光谱曲线与目标光谱曲线完全一致后，控制模块（3）驱动激光器（4）关闭激光。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 长飞(武汉)光系统股份有限公司 一种光栅型增益平坦滤波器的飞秒激光刻写系统

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