申请/专利权人：爱沛股份有限公司

申请日：2019-08-02

公开（公告）日：2024-04-19

公开（公告）号：CN112840197B

主分类号：G01N5/02

分类号：G01N5/02;H10N30/87;H10N30/88;H10N30/30

优先权：["20180927 JP 2018-182353","20190422 JP 2019-080654"]

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.04.19#授权;2021.06.11#实质审查的生效;2021.05.25#公开

摘要：在支承基板2设有贯通孔3。板状的梁4以堵塞贯通孔3的局部的方式从贯通孔3的边缘朝向相对的边缘延伸，在梁4设有压电元件。驱动电极16用于对压电元件施加电压而使梁4进行振动。检测电极17A、17B用于对与梁4的振动频率相关的信息进行检测。物质吸附膜5A、5B通过物质附着而使梁4的振动频率发生变化。物质吸附膜5A、5B和检测电极17A、17B设在梁4的正面和背面的相同的位置。

主权项：1.一种物质检测元件，其中，该物质检测元件包括：支承基板；板状的梁，其设有压电元件，该梁的至少一端固定于所述支承基板；驱动电极，其用于对所述压电元件施加电压而使所述梁进行振动；检测电极，其用于对与所述梁的振动频率相关的信息进行检测；以及物质吸附膜，通过使物质附着于该物质吸附膜而使所述梁的振动频率发生变化，所述物质吸附膜和所述驱动电极设在所述梁的正面和背面的不同的位置，所述物质吸附膜和所述检测电极设在所述梁的正面和背面的相同的位置。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 爱沛股份有限公司 物质检测元件

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