申请/专利权人：哈尔滨工业大学

申请日：2023-08-02

公开（公告）日：2024-04-19

公开（公告）号：CN116878394B

主分类号：G01B11/02

分类号：G01B11/02

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.04.19#授权;2023.10.31#实质审查的生效;2023.10.13#公开

摘要：本发明属于激光测量领域，本发明公开了一种微探头偏振光相位调制的干涉位移测量系统及方法，利用相位调制器对半导体激光器输出的正交偏振光分量进行正弦相位调制，通过偏振分光棱镜分成参考光和测量光，两束光分别由微探头内置反射面和被测目标镜反射回环形器，在与环形器连接的光纤偏振元件上进行干涉，干涉光信号由光电探测器接收并解调处理，解算得到被测目标镜的位移量。本发明采用相位调制器对参考光和测量光进行相位调制实现微探头干涉位移测量，解决了现有微探头相位调制干涉仪中采用光源频率内调制引入的伴随光强调制误差和位移量程受调制深度限制的问题，同时降低了光源稳频的难度，实现了微探头大量程、高精度干涉位移测量。

主权项：1.微探头偏振光相位调制的干涉位移测量系统，其特征在于，包括依次设置的半导体激光器1、电光相位调制器2、保偏光纤环形器3、偏振分束镜5；以及依次设置的光纤偏振元件6、光电探测器7和信号解调单元11；所述半导体激光器1通过保偏光纤跳线10与电光相位调制器2相连，所述半导体激光器1射出的光束通过保偏光纤跳线10调整偏振态，使入射到电光相位调制器2的光束沿着y方向传输，偏振方向与z轴呈45°角，从而在x轴和z轴上产生两个光分量；所述保偏光纤环形器3设置第一、第二和第三端口，第一端口与电光相位调制器2相连，第二端口与偏振分束镜5相连，第三端口与光纤偏振元件6相连，两个光分量经过第二端口入射到偏振分束镜5，经过偏振分束镜5形成测量光束和参考光束；所述偏振分束镜5的反射光为参考光束，经过偏振分束镜5的内置反射面反射后，入射到保偏光纤环形器3的第二端口，并经过第三端口入射到光纤偏振元件6；所述偏振分束镜5的透射光为测量光束，入射到被测目标镜8并反射回偏振分束镜5后，入射到保偏光纤环形器3的第二端口，并经过第三端口入射到光纤偏振元件6；所述光纤偏振元件6输出测量光束和参考光束的干涉光信号到光电探测器7，所述光电探测器7用于将光信号转化为电信号，并传输至信号解调单元11，所述信号解调单元11用于对干涉光信号的解调和处理，得到被测目标镜8的位移量；还包括驱动单元13，所述驱动单元13连接电光相位调制器2和信号解调单元11，用于产生两路正弦变化的驱动电压信号，一路加载到电光相位调制器2作为相位调制的驱动电压信号，另一路加载到信号解调单元11作为参考信号。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 哈尔滨工业大学 微探头偏振光相位调制的干涉位移测量系统及方法

免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。

阅读全文 双屏查看 官方信息 专利公告 收藏专利 下载PDF 下载WORD