申请/专利权人：中国科学院大连化学物理研究所

申请日：2020-12-18

公开（公告）日：2024-04-19

公开（公告）号：CN114645316B

主分类号：C30B15/00

分类号：C30B15/00;C30B29/06;B01D53/04;F23G7/07

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.04.19#授权;2022.07.08#实质审查的生效;2022.06.21#公开

摘要：本发明公开了一种单晶炉氩气尾气处理装置及其处理方法，属于惰性气体净化回收技术领域，能够解决现有处理方式中由于经过加氢除氧工艺而导致安全隐患较大的问题。所述装置包括：第一载氧体反应器的入口与催化反应器的出口连接；第二载氧体反应器的入口与第一载氧体反应器的出口连接；催化反应器的入口连接有尾气输送管和空气输出管；空气输出管上设置有第一阀门；第一氧分析仪连接在催化反应器的出口处；第二氧分析仪连接在第一载氧体反应器的出口处；一氧化碳分析仪分别通过第二阀门和第三阀门连接第一载氧体反应器的出口和第二载氧体反应器的出口；控制单元控制第二阀门和第三阀门的开闭，并控制第一阀门的开度。本发明用于单晶炉氩气尾气处理。

主权项：1.一种单晶炉氩气尾气处理装置，其特征在于，所述装置包括：第一氧分析仪、第二氧分析仪和一氧化碳分析仪，以及依次连通的催化反应器、第一载氧体反应器和第二载氧体反应器；所述催化反应器的入口连接有尾气输送管和空气输出管；所述空气输出管上设置有第一阀门；所述催化反应器中填装有催化燃烧催化剂；所述第一载氧体反应器和所述第二载氧体反应器中填装有金属氧化物；所述第一氧分析仪连接在所述催化反应器的出口处，用于检测所述催化反应器的出口处的氧气含量；所述第二氧分析仪连接在所述第一载氧体反应器的出口处，用于检测所述第一载氧体反应器的出口处的氧气含量；所述一氧化碳分析仪分别连接所述第一载氧体反应器的出口和所述第二载氧体反应器的出口，所述一氧化碳分析仪与所述第一载氧体反应器的连接管道上设置有第二阀门，所述一氧化碳分析仪与所述第二载氧体反应器的连接管道上设置有第三阀门，所述一氧化碳分析仪用于检测所述第一载氧体反应器的出口处或所述第二载氧体反应器的出口处的一氧化碳含量；所述装置还包括控制单元，所述控制单元用于控制所述第二阀门和所述第三阀门的开闭，并根据所述第一氧分析仪、所述第二氧分析仪和所述一氧化碳分析仪的检测结果，控制所述第一阀门的开度；所述装置还包括第三载氧体反应器，所述第三载氧体反应器的入口与所述第二载氧体反应器的出口连接；所述第三载氧体反应器中填装有金属氧化物；所述尾气输出管上设置有第四阀门；所述控制单元具体用于：控制所述第四阀门和所述第三阀门开启、所述第一阀门和所述第二阀门关闭；当所述一氧化碳分析仪检测到所述第二载氧体反应器的出口处的一氧化碳含量大于或等于第一阈值时，控制所述第一阀门打开；所述尾气输出管上设置有第四阀门；所述控制单元具体用于：控制所述第四阀门、所述第一阀门和所述第二阀门开启、所述第三阀门关闭；当所述第一氧分析仪检测到所述催化反应器的出口处的氧气含量大于或等于第二阈值时，控制所述第一阀门的开度减小；当所述第一氧分析仪检测到所述催化反应器的出口处的氧气含量小于或等于第三阈值时，控制所述第一阀门的开度增大；当所述第二氧分析仪检测到所述第一载氧体反应器的出口处的氧气含量大于或等于第四阈值时，控制所述第一阀门的开度减小；当所述一氧化碳分析仪检测到所述第一载氧体反应器的出口处的一氧化碳含量大于或等于第五阈值时，控制所述第一阀门的开度增大。

全文数据：

权利要求：

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