申请/专利权人：意法半导体股份有限公司

申请日：2023-06-30

公开（公告）日：2024-04-19

公开（公告）号：CN220819017U

主分类号：G01C19/5712

分类号：G01C19/5712

优先权：["20220701 IT 102022000014050","20230621 US 18/339,084"]

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.04.19#授权

摘要：本公开的实施例涉及微机电系统陀螺仪。MEMS陀螺仪，具有：第一可移动质量块，被配置为相对于固定结构移动；第一驱动组件，被耦合至第一可移动质量块，并且被配置为生成第一交替驱动移动；第一驱动弹性结构，被耦合至第一可移动质量块，并且被耦合至第一驱动组件，在第一驱动方向上是刚性的，并且在第一感测方向上是顺应性的；第二可移动质量块，被配置为相对于固定结构移动；第二驱动组件，被耦合至第二可移动质量块，并且被配置为在第二驱动方向上生成第二交替驱动移动；第二驱动弹性结构，被耦合至第二可移动质量块，并且被耦合至第二驱动组件，在第二驱动方向上是刚性的，并且在第二感测方向上是顺应性的。

主权项：1.一种微机电系统陀螺仪，其特征在于,包括：固定结构；第一可移动质量块，所述第一可移动质量块被配置为沿着第一驱动方向并且沿着横向于所述第一驱动方向的第一感测方向相对于所述固定结构移动；第一驱动组件，被耦合至所述第一可移动质量块，并且被配置为在所述第一驱动方向上生成第一交替驱动移动；第一驱动弹性结构，被耦合至所述第一可移动质量块，并且被耦合至所述第一驱动组件，所述第一驱动弹性结构在所述第一驱动方向上是刚性的，被配置为将所述第一交替驱动移动传递到所述第一可移动质量块，并且在所述第一感测方向上是顺应性的；第二可移动质量块，所述第二可移动质量块被配置为在平行于所述第一驱动方向的第二驱动方向上并且在平行于所述第一感测方向的第二感测方向上相对于所述固定结构移动；第二驱动组件，被耦合至所述第二可移动质量块，并且被配置为在所述第二驱动方向上生成第二交替驱动移动，所述第二交替驱动移动相对于所述第一交替驱动移动反相；以及第二驱动弹性结构，被耦合至所述第二可移动质量块，并且被耦合至所述第二驱动组件，所述第二驱动弹性结构在所述第二驱动方向上是刚性的，被配置为将所述第二交替驱动移动传递到所述第二可移动质量块，并且在所述第二感测方向上是顺应性的。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 意法半导体股份有限公司 微机电系统陀螺仪

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