申请/专利权人：湖南大学

申请日：2024-01-29

公开（公告）日：2024-04-26

公开（公告）号：CN117936664A

主分类号：H01L33/00

分类号：H01L33/00;H01L33/48;H01L21/67;H01L21/683

优先权：

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2024.05.14#实质审查的生效;2024.04.26#公开

摘要：本发明公开了一种基于化学动态键印章转印Micro‑LED的方法，所述Micro‑LED转印方法由含有动态硼氧键的聚硼硅氧烷PBS聚合物印章、基于弱化结构的Micro‑LED阵列芯片和基于喷胶增粘处理的目标异质衬底实现。本发明利用聚硼硅氧烷PBS聚合物印章在低压应力刺激下表现出粘流态以及高剥离应力下表现出固态的性质，实现对Micro‑LED超高的抓力切换比，从而实现Micro‑LED高效率拾取与放置。所述转印方式简单且快速，具有高效率转移晶圆级小尺寸Micro‑LED芯片的特点。在Micro‑LED显示、柔性光电子与光电信息通讯等领域具有十分广阔的应用前景。

主权项：1.一种基于化学动态键印章转印Micro-LED的方法，其特征在于：将PBS印章平铺在原始衬底上的Micro-LED阵列表面，施加≤1N的压力使PBS印章与Micro-LED阵列中每个Micro-LED像素充分共形贴合，然后用≥20cms的剥离速度，使与Micro-LED阵列贴合的PBS印章与原始衬底分离获得粘有Micro-LED阵列的PBS印章，然后再将粘有Micro-LED阵列的PBS印章平铺在目标衬底上，充分接触后，使Micro-LED阵列与目标衬底粘合，最后采用5～10cms的剥离速度使PBS印章与Micro-LED阵列分离。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 湖南大学 一种基于化学动态键印章转印Micro-LED的方法

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