申请/专利权人：音羽电机工业株式会社

申请日：2022-09-05

公开（公告）日：2024-04-26

公开（公告）号：CN117940765A

主分类号：G01N27/00

分类号：G01N27/00

优先权：["20210908 JP 2021-146438"]

专利状态码：在审-公开

法律状态：2024.04.26#公开

摘要：本发明提供一种尺寸小且能够测量小的电场强度的传感器装置。该传感器装置具备：第一电介质层；第一原子层材料膜，其配置在第一电介质层上，具有由第一材料形成的一个或多个原子层；沟道层，其配置在第一原子层材料膜上，具有沟道区域，并且具有一个或多个石墨烯原子层；第二原子层材料膜，其配置在沟道层上，具有由第二材料形成的一个或多个原子层；以及第一电极和第二电极，其以夹着沟道区域相对的方式配置在沟道层上，第二原子层材料膜具有第一面和第二面，第一面配置在沟道层上，第二面中的与沟道区域相对的部分露出到外部，或者在第二面上配置第二电介质层、且第二电介质层中的与第二原子层材料膜相反一侧的面中的与沟道区域相对的部分露出到外部。

主权项：1.一种能测量外部电场的电场强度的传感器装置，其特征在于，具备：第一电介质层；第一原子层材料膜，其配置在所述第一电介质层上，具有由第一材料形成的一个或多个原子层；沟道层，其配置在所述第一原子层材料膜上，具有沟道区域，并且具有一个或多个石墨烯原子层；第二原子层材料膜，其配置在所述沟道层上，具有由第二材料形成的一个或多个原子层；以及第一电极和第二电极，它们以夹着所述沟道区域相对的方式配置在所述沟道层上，所述第二原子层材料膜具有第一面和第二面，所述第一面配置在所述沟道层上，所述第二面中的与所述沟道区域相对的部分露出到外部，或者在所述第二面上配置第二电介质层、且所述第二电介质层中的与所述第二原子层材料膜相反一侧的面中的与所述沟道区域相对的部分露出到外部。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 音羽电机工业株式会社 能测量电场强度的传感器装置及测量外部电场的方法

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