申请/专利权人：福建钰融科技有限公司

申请日：2023-12-15

公开（公告）日：2024-04-26

公开（公告）号：CN117920090A

主分类号：B01J19/00

分类号：B01J19/00;B01J4/00;B01F33/40

优先权：

专利状态码：在审-公开

法律状态：2024.04.26#公开

摘要：本发明涉及蚀刻液生产技术领域，提供一种高寿命的稳定蚀刻液生产设备，包括：液体原料输送装置、粉末原料输送装置、惰性气体供给装置和反应釜；所述液体原料输送装置包括液体原料罐、液泵、第一输料管、第一电控阀门、第一竖直管和第一喷料管；所述粉末原料输送装置包括粉末原料罐、气泵、第二输料管、第二电控阀门、第三电控阀门、第二竖直管、第二喷料管、三通管和输气管；蚀刻液的原料包括过氧化氢、调节剂、稳定剂、有机酸、抑制剂、pH调节剂、去离子水、溶解剂。本发明的优点在于：液体原料由液泵直接输送到反应釜，粉末原料与惰性气体混合，在气泵的驱动下，粉末原料随流动的惰性气体一起输送到反应釜，高效率地生产高寿命的稳定蚀刻液。

主权项：1.一种高寿命的稳定蚀刻液生产设备，其特征在于，包括：液体原料输送装置、粉末原料输送装置、惰性气体供给装置和反应釜；所述液体原料输送装置包括液体原料罐、液泵、第一输料管、第一电控阀门、第一竖直管和第一喷料管；所述液体原料罐的底部出口与所述第一输料管的入口连接，所述第一电控阀门安装在所述液体原料罐的底部出口，所述第一输料管的出口与所述液泵的入口连接，所述液泵的出口与所述第一竖直管的下端入口连接，所述第一竖直管的上端出口穿进所述反应釜的顶部，还与所述第一喷料管的入口连接；所述粉末原料输送装置包括粉末原料罐、气泵、第二输料管、第二电控阀门、第三电控阀门、第二竖直管、第二喷料管、三通管和输气管；所述粉末原料罐的底部出口与所述三通管的第一管口连接，所述第二电控阀门安装在所述粉末原料罐的底部出口，所述三通管的第二管口与所述第二输料管的入口连接，所述第二输料管的出口与所述气泵的入口连接，所述气泵的出口与所述第二竖直管的下端入口连接，所述第二竖直管的上端出口穿进所述反应釜的顶部，还与所述第二喷料管的入口连接，所述第二喷料管的出口向下延伸到所述反应釜的底部，所述输气管的出口与所述三通管的第三管口连接，所述输气管的入口与所述惰性气体供给装置的出口连接，所述第三电控阀门安装在所述输气管；蚀刻液的原料包括过氧化氢、调节剂、稳定剂、有机酸、抑制剂、pH调节剂、去离子水、溶解剂；所述液体原料输送装置的数量与所述蚀刻液的液体原料的种类一致，所述粉末原料输送装置的数量与所述蚀刻液的粉末原料的种类一致。

全文数据：

权利要求：

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