申请/专利权人：应用材料公司

申请日：2022-08-15

公开（公告）日：2024-04-26

公开（公告）号：CN117941050A

主分类号：H01L21/67

分类号：H01L21/67;H01J37/32

优先权：["20210924 US 17/484,605"]

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2024.05.14#实质审查的生效;2024.04.26#公开

摘要：一种用于处理基板的装置可包括气体分配板，所述气体分配板包括上部板和下部板以及在上部板和下部板之间的实心盘。上部板和下部板中的每一者具有中心区域和围绕中心区域的外部区域，中心区域是实心的并且外部区域具有多个通孔。上部板和下部板沿着中心轴同轴地对准，中心轴延伸穿过上部板的中心区域的中心和下部板的中心区域的中心。实心盘与上部板和下部板同轴地对准。实心盘配置成阻隔紫外线辐射透射通过实心盘。

主权项：1.一种气体分配板，包括：第一板，所述第一板具有中心区域和围绕所述中心区域的外部区域，所述中心区域是实心的并且所述外部区域具有多个通孔，所述第一板配置成准许紫外线辐射透射通过所述中心区域和所述外部区域；以及实心盘，所述实心盘与所述第一板的所述中心区域对准，所述实心盘配置成阻隔紫外线辐射透射通过所述实心盘。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 应用材料公司 在中心处具有UV阻隔件的气体分配板

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