申请/专利权人：三星显示有限公司

申请日：2023-10-26

公开（公告）日：2024-04-26

公开（公告）号：CN117926190A

主分类号：C23C14/24

分类号：C23C14/24;C23C14/04

优先权：["20221026 KR 10-2022-0139583"]

专利状态码：在审-公开

法律状态：2024.04.26#公开

摘要：一种沉积设备包括：汽化部，所述汽化部包括容器、加热部、冷却罩和防附着部，所述容器容纳沉积初步材料，所述加热部围绕所述容器并加热所述沉积初步材料以汽化成沉积材料，所述冷却罩围绕所述加热部并冷却所述加热部，所述防附着部位于所述冷却罩与所述加热部之间以防止所述沉积材料附着到所述冷却罩；以及喷嘴部，喷射在所述汽化部中汽化的所述沉积材料，其中所述防附着部包括覆盖所述冷却罩的防附着板和被配置以将所述防附着板紧固到所述冷却罩的紧固部。

主权项：1.一种沉积设备，包括：汽化部，包括：容器，容纳沉积初步材料，加热部，围绕所述容器并用于加热所述沉积初步材料以汽化成沉积材料，冷却罩，围绕所述加热部并用于冷却所述加热部，和防附着部，位于所述冷却罩与所述加热部之间以防止所述沉积材料附着到所述冷却罩；以及喷嘴部，用于喷射在所述汽化部中汽化的所述沉积材料，其中所述防附着部包括：防附着板，覆盖所述冷却罩；和紧固部，被配置以将所述防附着板紧固到所述冷却罩。

全文数据：

权利要求：

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