申请/专利权人：电子科技大学

申请日：2024-01-18

公开（公告）日：2024-04-26

公开（公告）号：CN117928670A

主分类号：G01F1/684

分类号：G01F1/684;G01F1/69;G01F1/692

优先权：

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2024.05.14#实质审查的生效;2024.04.26#公开

摘要：本发明涉及传感器技术领域，具体为一种基于热电效应的新型热式流量计及其制备方法。本发明基于热电效应，通过将电发热薄膜、绝缘薄膜和热电敏感薄膜生长在倾斜单晶基片上，开创性地将加热器和传感器集成为三维叠层结构，通过电发热薄膜发热，流体流动产生热流信号，热电敏感薄膜产生与热流对应的纵向温度梯度，产生横向热电势；当流体时静止的，热电敏感薄膜上下表面温差很小，输出稳定的热电势小信号；当流体运动时，ALTP热电敏感薄膜上下表面温差会增大，输出的电势也会增大，流体的流速越大，ALTP热电敏感薄膜产生的电势也会越大，属于流速型流量传感器。本发明有效解决了现有热式流量计响应慢、集成度低的问题。

主权项：1.一种基于热电效应的新型热式流量计，其特征在于：包括倾斜单晶基片、电发热薄膜、绝缘薄膜、ALTP热电敏感薄膜和引出电极；所述倾斜单晶基片上依次生长：电发热薄膜、绝缘薄膜和ALTP热电敏感薄膜，或ALTP热电敏感薄膜、绝缘薄膜和电发热薄膜；形成叠层结构；所述绝缘薄膜将电发热薄膜和ALTP热电敏感薄膜绝缘隔离；其中，ALTP热电敏感薄膜厚度为15nm-5um，电发热薄膜厚度为15nm-15um，绝缘薄膜厚度为50nm-20um；所述电发热薄膜和ALTP热电敏感薄膜的两端均分别设有引出电极，共通过4根导线进行引出。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 电子科技大学 一种基于热电效应的新型热式流量计及其制备方法

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