申请/专利权人：艾克塞利斯科技公司

申请日：2022-08-04

公开（公告）日：2024-04-26

公开（公告）号：CN117941024A

主分类号：H01J37/317

分类号：H01J37/317;H01J37/147

优先权：["20210805 US 63/229,663","20210805 US 63/229,751"]

专利状态码：在审-公开

法律状态：2024.04.26#公开

摘要：离子注入系统和方法在串联单工件终端站中跨工件注入变化的离子束能量，其中加速减速级的电极、弯曲电极和或能量过滤器控制离子束到工件的最终能量或路径。弯曲电极或能量过滤器可以是加速减速级的一部分，或可以位于下游。扫描装置扫描离子束和或工件，并且电源向电极提供变化的电偏置信号。控制器基于工件处的所需的离子束能量选择性地改变与离子束和或工件通过离子束的扫描同时发生的电偏置信号。波形发生器可以提供变化并且使供应至加速减速级、弯曲电极和或能量过滤器的电偏置信号同步。

主权项：1.一种离子注入系统，其特征在于，包括：离子源，其被配置为电离掺杂剂材料并产生离子束；束线组件，其位于所述离子源的下游并被配置为朝向工件输送所述离子束；扫描装置，其被配置为沿着第一扫描轴相对于彼此扫描所述离子束和所述工件中的一个或多个；加速减速级，其被配置为在所述离子束的输送期间接收所述离子束；终端站，其位于所述加速减速级的下游，其中所述终端站包括工件支撑件，所述工件支撑件被配置为选择性地将所述工件定位在所述离子束的路径中；一个或多个电源，其可操作地耦合到所述加速减速级并且被配置为向所述加速减速级提供一个或多个电偏置信号，其中所述加速减速级被配置为基于所述一个或多个电偏置信号来限定所述离子束的多个能量；以及控制器，其被配置为在沿着所述第一扫描轴扫描所述离子束和工件中的一个或多个的同时，选择性地改变提供给所述加速减速级的一个或多个电偏置信号，其中所述一个或多个电偏置信号的选择性改变至少部分地基于所述离子束相对于所述工件的位置和跨所述工件的预定注入轮廓。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 艾克塞利斯科技公司 混合能量离子注入

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