申请/专利权人：北京航空航天大学

申请日：2024-01-19

公开（公告）日：2024-04-26

公开（公告）号：CN117936392A

主分类号：H01L21/48

分类号：H01L21/48

优先权：["20231116 CN 2023115311977"]

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2024.05.14#实质审查的生效;2024.04.26#公开

摘要：一种基于ITO牺牲层优化纳米微粒激光烧结特性的方法，涉及半导体材料领域，包括以下步骤：制备功能层材料纳米微粒墨水；功能层材料线路喷墨打印；制备牺牲层材料纳米微粒墨水；牺牲层材料线路喷墨打印；功能层‑牺牲层双层线路激光烧结。基于ITO牺牲层，可精准调控内层功能纳米微粒不同烧结程度；还可实现金属的隔氧烧结，降低内层金属纳米微粒在激光烧结过程中的氧化，进而提升其电学性能；还可实现低吸收率半导体材料的高致密度烧结，并形成大尺寸的柱状晶粒，具有优异的电学及热电性能；还可实现低吸收率陶瓷材料的极高温度烧结，且在表面形成复杂的液相烧结复合结构，在内层形成柱状晶粒，共同构成具有功能分层结构的陶瓷薄膜。

主权项：1.一种基于ITO牺牲层优化纳米微粒激光烧结特性的方法，其特征在于，包括以下步骤：1制备功能层材料纳米微粒墨水；向功能层材料纳米微粒中加入有机溶剂配置成墨水，于120-200W的功率下超声分散2-4小时，水浴控制分散温度为10-15℃，经过滤后得到功能层材料纳米微粒墨水；2功能层材料线路喷墨打印；通过设置正压为60-70V，负压为70-85V，基准电压为0-5V，正压上升时间为5-8ms，正压持续时间为30-40ms，正压下降时间为10-20ms，负压持续时间为40-50ms，负压上升时间为5-8ms制备出功能层材料纳米微粒墨水液滴，将基板加热至115-180℃并设置打印参数和打印图案后开始喷墨打印；3制备牺牲层材料纳米微粒墨水；向ITO纳米微粒中加入有机溶剂配置成墨水，所述ITO纳米微粒的质量分数为8-10％，于120-200W的功率下超声分散2-4小时，水浴控制分散温度为10-15℃，经过滤后得到牺牲层材料纳米微粒墨水；4牺牲层材料线路喷墨打印；通过设置正压为65-75V，负压为70-80V，基准电压为0-3V，正压上升时间为5-6ms，正压持续时间为30-35ms，正压下降时间为10-15ms，负压持续时间为40-42ms，负压上升时间为5-6ms制备出牺牲层材料纳米微粒墨水液滴，将打印好功能层材料线路的基板加热至118-122℃并设置打印参数和打印图案开始喷墨打印；5功能层-牺牲层双层线路激光烧结；将打印好双层线路的基板加热至50-55℃，调整连续波的Nd-YAG激光器光斑直径为0.2-0.3mm，设置激光扫描路径并调整激光参数后开始激光烧结。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 北京航空航天大学 一种基于ITO牺牲层优化纳米微粒激光烧结特性的方法

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