申请/专利权人:电子科技大学长三角研究院(湖州)
申请日:2021-08-18
公开(公告)日:2024-04-26
公开(公告)号:CN113624050B
主分类号:F28D15/04
分类号:F28D15/04
优先权:
专利状态码:有效-授权
法律状态:2024.04.26#授权;2021.11.26#实质审查的生效;2021.11.09#公开
摘要:一种高效高可靠性平板热管,涉及平板热管技术领域。其结构包括具有高导热系数、高杨氏模量特点的碳化硅封闭平板壳体,散热工质以及具有微孔结构垂直生长的石墨烯互连阵列。微孔结构垂直生长的石墨烯互连阵列置于碳化硅平板壳体内部。该结构结合了平板热管的高匀热优点,石墨烯层面内的高导热优点以及碳化硅的高硬度和低热膨胀系数优点,这些优点协同作用的结果使得这种平板热管不仅具有良好的匀热和导热性能,同时具有高温工作条件下形变极小的特点,特别适用于各种高功率电子器件的散热。
主权项:1.一种高效高可靠性平板热管,其特征在于:包括碳化硅封闭平板壳体,置于碳化硅平板壳体内部并与碳化硅封闭平板壳体上下内表面形成热接触的微孔结构垂直生长的石墨烯互连阵列,在碳化硅封闭平板壳体内还设置有散热工质;垂直生长的为单层单晶结构,石墨烯横向之间相互连接,形成蜂窝状微结构,具有毛细力和虹吸力;蜂窝状垂直生长的石墨烯微结构阵列是利用等离子体化学气相沉积方法直接生长于带有凹槽的碳化硅片凹槽内,形成良好的热接触,控制生长时间,把蜂窝状垂直生长的石墨烯微结构阵列的高度控制在400um,以使其和上盖内部凹面处也形成热接触。
全文数据:
权利要求:
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