申请/专利权人：丰和工业株式会社

申请日：2019-08-09

公开（公告）日：2024-04-26

公开（公告）号：CN112566743B

主分类号：B23B31/00

分类号：B23B31/00;B23Q3/06;B23Q17/00

优先权：["20180810 JP 2018-150931"]

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.04.26#授权;2021.04.13#实质审查的生效;2021.03.26#公开

摘要：卡盘的抓握精度确认方法包括：将测量对象物抓握于爪的抓握工序、移动工序和测量工序。在移动工序中，通过对移动体驱动部进行驱动，使设置有能对测量对象物的振动进行测量的测量器的移动体移动到测量器能对测量对象物的振动进行测量的位置。在测量工序中，一边通过对旋转驱动部进行驱动而使卡盘旋转，一边利用测量器对测量对象物的振动进行测量。

主权项：1.一种卡盘的抓握精度确认方法，在所述卡盘的抓握精度确认方法中，将测量对象物抓握于卡盘的爪并确认抓握精度，包括：抓握工序，在所述抓握工序中，将所述测量对象物抓握于所述爪；移动工序，在所述移动工序中，通过对移动体驱动部进行驱动，使设置有能对所述测量对象物的振动进行测量的测量器的移动体移动到所述测量器能对所述测量对象物的振动进行测量的位置；以及测量工序，在所述测量工序中，一边通过对旋转驱动部进行驱动使所述卡盘旋转，一边利用所述测量器对所述测量对象物的振动进行测量，在所述移动体设置有抓握所述测量对象物的手爪，在所述抓握工序中，所述测量对象物被所述手爪抓握并通过所述移动体被搬运到所述卡盘。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 丰和工业株式会社 卡盘的抓握精度确认方法、卡盘的爪更换方法和卡盘的抓握精度确认装置

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