申请/专利权人：江西理工大学

申请日：2022-05-11

公开（公告）日：2024-04-26

公开（公告）号：CN114899281B

主分类号：H01L31/18

分类号：H01L31/18;C23C14/06;C23C14/24;C23C14/50

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.04.26#授权;2022.08.30#实质审查的生效;2022.08.12#公开

摘要：本发明提出一种铜锑硫族太阳能电池吸收层薄膜的制备装置与制备方法，所述铜锑硫族太阳能电池吸收层薄膜的制备装置与包括真空箱，所述真空箱的内部由上至下依次设有衬底加热器、传送架、蒸镀机构以及辅助加热器；所述传送架的一端外部安装有终止框，所述终止框远离所述真空箱的一端设有第一倒角；所述真空箱的一侧表面设有供所述传送架穿插的密封框，所述密封框远离所述真空箱的一端设有用于推动所述终止框的挤压密封组件。本发明能够在铜锑硫太阳能薄板的制备过程中，保持良好的密封性，以便于后续的蒸镀和加热。

主权项：1.一种铜锑硫族太阳能电池吸收层薄膜的制备装置，包括真空箱（10），其特征在于，所述真空箱（10）的内部由上至下依次设有衬底加热器（20）、传送架（30）、蒸镀机构（40）以及辅助加热器（50）；所述衬底加热器（20）的底端安装有多个金属真空吸盘（21），多个所述金属真空吸盘（21）的出气端均连接有真空吸气支管（22），多个所述真空吸气支管（22）远离所述金属真空吸盘（21）的一端均与真空吸气主管（23）相连接；所述传送架（30）的一端外部安装有终止框（31），所述终止框（31）远离所述真空箱（10）的一端设有第一倒角（32）；所述真空箱（10）的一侧表面设有供所述传送架（30）穿插的密封框（11），所述密封框（11）远离所述真空箱（10）的一端设有用于推动所述终止框（31）的挤压密封组件（12）；所述挤压密封组件（12）包括安装于所述密封框（11）远离所述真空箱（10）的一侧表面的进气框（121），设于所述进气框（121）内框表面的多个滑动腔（124），以及与所述滑动腔（124）的内部滑动连接的推块（122），相邻两个所述滑动腔（124）之间通过通气管（125）相连接；所述挤压密封组件（12）还包括安装于所述进气框（121）壳体上的进气头（123），所述进气头（123）的进气端与所述真空吸气主管（23）之间通过真空泵相连接；其中，通过真空泵为进气框（121）供气；通过进气框（121）内的空气推动推块（122），通过推块（122）推动终止框（31）靠近真空箱（10）。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 江西理工大学 铜锑硫族太阳能电池吸收层薄膜的制备装置与制备方法

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